[发明专利]一种集簇设备控制系统和工艺控制系统之间通信的方法有效
申请号: | 200810056107.2 | 申请日: | 2008-01-11 |
公开(公告)号: | CN101482746A | 公开(公告)日: | 2009-07-15 |
发明(设计)人: | 陆涛 | 申请(专利权)人: | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
主分类号: | G05B19/418 | 分类号: | G05B19/418;H01L21/00 |
代理公司: | 北京德琦知识产权代理有限公司 | 代理人: | 王 琦;王诚华 |
地址: | 100016北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 设备 控制系统 工艺 之间 通信 方法 | ||
1. 一种集簇设备控制系统和工艺控制系统之间通信的方法,其特征在于, 该方法包括以下步骤:
a、集簇设备控制CTC系统向工艺控制系统发送携带有接口信息的操作命 令,所述接口信息为工艺控制系统事先设置的针对自身功能模块的信息;
b、工艺控制系统从操作命令中获得接口信息,并根据获得的接口信息对相 应功能模块进行操作。
2. 根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述接口信息至少包括功能 模块ID号、功能标识信息;所述功能标识信息为功能模块ID号所对应功能模 块可执行功能的标识信息;所述操作命令为指示功能模块执行功能的命令;
所述步骤b包括:工艺控制系统根据操作命令确定当前需要功能模块执行 自身功能,并根据功能模块ID号和功能标识信息调用相应的功能模块,被调用 的功能模块按照所述功能标识信息执行自身的功能。
3. 根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述接口信息至少包括功能 模块ID号;所述操作命令为读取功能模块最近所执行功能的标识信息的命令;
所述步骤b包括:所述工艺控制系统根据操作命令确定当前需要读取功能 模块最近所执行功能的标识信息,根据功能模块ID号查询保存的对应功能模块 最近所执行功能的标识信息,并将查询到的功能标识信息返回给CTC系统。
4. 根据权利要求1至3任一项所述的方法,其特征在于,所述操作命令为 基于Socket连接的操作命令,所述步骤a之前,该方法进一步包括:CTC系统 和工艺控制系统之间建立Socket连接。
5. 根据权利要求1至3任一项所述的方法,其特征在于,当工艺控制系统 的功能模块检测出故障时,该方法进一步包括:
将事先为故障设置的故障标识信息发送给CTC系统,CTC系统根据故障标 识信息调用故障处理功能进行故障处理,所述故障处理功能为CTC系统事先通 过远程引用方式从工艺控制系统中所获得的。
6. 根据权利要求5所述的方法,其特征在于,所述远程引用为利用远程 remoting技术实现的远程引用。
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