[发明专利]一种集簇设备控制系统和工艺控制系统之间通信的方法

说明书

技术领域

本发明涉及半导体加工技术领域，特别是涉及一种集簇设备控制系统和 工艺控制系统之间通信的方法。

背景技术

在半导体加工工艺操作过程中，通常利用工艺控制系统对工艺操作进行 控制，从而自动、准确地完成工艺任务。这里所述的工艺控制系统就是安装 在如计算机等设备中的软件系统，可以按照对半导体加工工艺操作过程的不 同分为不同的系统。比如：工艺模块控制(PMC)系统、传输模块控制(TMC， Transport Module Controller)系统等等。

其中，PMC系统主要用于对半导体加工过程的控制，比如对加工深度 的控制；而TMC系统则主要用于对半导体加工件传输过程的控制，比如： 对实施取片、放片等操作的机械手的控制、对反应室某个阀门打开或关闭的 控制等。这里所述的半导体加工件通常包括晶片以及与其具有相同加工原理 的其他加工件，下文所述半导体加工件的含义与此相同。

实际应用中，为了更好地对整个工艺操作过程进行控制，还需要利用集 簇设备控制(CTC，Cluster Tool Controller)系统对工艺控制系统进行控制。 这里所述的CTC系统也是安装在如计算机等设备中的软件系统。具体地说， CTC可以事先设置一系列的算法或命令，利用设置的算法或命令控制工艺控 制系统实施自身的某个功能模块的功能，从而达到实施整个工艺操作过程的 目的。

由于CTC系统需要对工艺控制系统进行控制，就需要与其进行通信。 现有技术中，CTC系统与工艺控制系统之间通常采用Corba体系进行通信。 Corba体系是采用远程引用的方式来调用工艺控制系统中功能模块的功能， 这就需要CTC系统启动后对工艺控制系统中所有功能模块进行远程引用， 相当于将工艺控制系统中各个功能模块备份在自身中。此后，当CTC需要 实施工艺控制系统某个功能模块时，就可以直接调用事先引用的功能模块， 从而达到控制工艺控制系统的目的。

由于CTC系统是采用Corba体系与工艺控制系统进行通信，如果工艺 控制系统中的功能模块非常多，CTC系统在引用工艺控制系统中所有功能模 块后，不但会占用CTC系统大量的资源，还会使CTC系统的运行速度和性 能下降。

发明内容

有鉴于此，本发明的主要目的在于提供一种集簇设备控制(CTC)系统 和工艺控制系统之间通信的方法，不必占用CTC系统大量的资源，避免使 CTC系统的运行速度和性能下降。

为了达到上述目的，本发明提出的技术方案为：

一种集簇设备控制系统和工艺控制系统之间通信的方法，该方法包括以下 步骤：

a、集簇设备控制CTC系统向工艺控制系统发送携带有接口信息的操作命 令，所述接口信息为工艺控制系统事先设置的针对自身功能模块的信息；

b、工艺控制系统从操作命令中获得接口信息，并根据获得的接口信息对相 应功能模块进行操作。

上述方案中，所述接口信息至少包括功能模块ID号、功能标识信息；所述 功能标识信息为功能模块ID号所对应功能模块可执行功能的标识信息；所述操 作命令为指示功能模块执行功能的命令；

所述步骤b包括：工艺控制系统根据操作命令确定当前需要功能模块执行 自身功能，并根据功能模块ID号和功能标识信息调用相应的功能模块，被调用 的功能模块按照所述功能标识信息执行自身的功能。

上述方案中，所述接口信息至少包括功能模块ID号；所述操作命令为读取 功能模块最近所执行功能的标识信息的命令；

所述步骤b包括：所述工艺控制系统根据操作命令确定当前需要读取功能 模块最近所执行功能的标识信息，根据功能模块ID号查询保存的对应功能模块 最近所执行功能的标识信息，并将查询到的功能标识信息返回给CTC系统。

上述方案中，所述操作命令为基于Socket连接的操作命令，所述步骤a之 前，该方法进一步包括：CTC系统和工艺控制系统之间建立Socket连接。

上述方案中，当工艺控制系统的功能模块检测出故障时，该方法进一步包 括：

将事先为故障设置的故障标识信息发送给CTC系统，CTC系统根据故障标 识信息调用故障处理功能进行故障处理，所述故障处理功能为CTC系统事先通 过远程引用方式从工艺控制系统中所获得的。