[发明专利]多晶硅铸锭炉及控制方法有效
| 申请号： | 200810055537.2 | 申请日： | 2008-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN101333681A | 公开（公告）日： | 2008-12-31 |
| 发明（设计）人： | 侯炜强;程建平;张金凤;韩栋梁 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第二研究所 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B28/06 |
| 代理公司： | 山西科贝律师事务所 | 代理人： | 陈奇 |
| 地址： | 030024山*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多晶硅铸锭炉以及对该炉的控制方法，多晶硅铸锭炉，包括封闭的炉体(1)、在工作台(8)上活动设置的坩埚(3)、温度传感器(5)、压力传感器(19)、CPU及接口电路，在工作台(8)上活动设置一与提升装置(6)机械连接在一起的罩体(13)，CPU通过接口电路控制罩体(13)内设置的电阻加热丝(9)、炉内气压和罩体(13)的提升量。CPU通过各接口电路实现对多晶硅铸锭炉的自动控制。本发明的多晶硅铸锭炉及控制方法，提高了用硅溶液生长多晶硅时，晶核排列的同一性和排列密度，使生成的多晶硅的光电转换率大大提高。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 铸锭 控制 方法 | ||
【主权项】：
1、一种多晶硅铸锭炉，包括封闭的炉体(1)、在炉体(1)内的底部固定设置的工作台(8)、在工作台(8)上活动设置的坩埚(3)、CPU及接口电路，其特征在于，在所述的工作台(8)上活动设置一罩体(13)，该罩体(13)通过从炉体(1)的顶部穿出的提升杠与提升装置(6)机械连接在一起，该提升装置(6)的电控端通过通讯接口电路RS232与所述的CPU电连接在一起；在所述的罩体(13)的顶板上设置有通过孔，穿线管(18)通过该通过孔从炉体的顶部穿出，且罩体(13)可沿穿线管(18)上下移动，在罩体(13)内设置有电阻加热丝(9)，该电阻加热丝(9)通过从穿线管(18)中穿过的导线与炉外的电加热功率调节装置(12)电连接在一起，电加热功率调节装置(12)通过第一接口电路(16)与CPU电连接；在所述的炉体(1)内还设置有温度传感器(5)和压力传感器(19)，温度传感器(5)通过第二接口电路(7)与CPU电连接，压力传感器(19)通过第三接口电路(4)与CPU电连接，CPU通过第四接口电路(15)与气体流量计(11)的电控端电连接，实现对从保护气入口(10)进入到炉体的保护气的气流的控制，在所述的炉体(1)上还设置有保护气排气装置(2)，该保护气排气装置(2)的排气泵(14)的电控端与CPU电连接在一起。
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