[发明专利]从硅片切割加工副产物中回收切割液的方法无效
| 申请号： | 200810020744.4 | 申请日： | 2008-02-20 |
| 公开（公告）号： | CN101239246A | 公开（公告）日： | 2008-08-13 |
| 发明（设计）人： | 孙余凭;刘来宝;仲其成 | 申请（专利权）人： | 江南大学 |
| 主分类号： | B01D3/00 | 分类号： | B01D3/00;B01D3/10;B01D21/02 |
| 代理公司： | 无锡市大为专利商标事务所 | 代理人： | 曹祖良 |
| 地址： | 214122江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种从硅片切割加工副产物中回收切割液的方法。按照本发明提供的技术方案，硅片切割加工副产物经混合均匀后，加入分离剂，混合温度为常温或50～80℃；由机械分离器获得50～95％的富碳化硅浆料和5～50％的贫碳化硅悬浮液；富碳化硅浆料用作碳化硅回收；获得的贫碳化硅悬浮液经固液分离装置进行固液分离，固液分离的温度为常温或在50℃～80℃；对固液分离所得液体加入稳定剂，在70℃～130℃下反应1～12小时，反应完毕后，对贫碳化硅悬浮液冷却至适合机械过滤的温度，过滤掉贫碳化硅悬浮液中的固体颗粒后得到回收的切割液。回收切割液可回用于硅片的切割加工。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 切割 加工 副产物 回收 方法 | ||
【主权项】：
1、一种从硅片切割加工副产物中回收切割液的方法，其特征在于：硅片切割加工副产物经混合均匀后，加入分离剂，用量为5～50％，混合温度为常温或50～80℃；用传送机械送入机械分离器；由机械分离器获得50～95％的富碳化硅浆料和5～50％的贫碳化硅悬浮液；富碳化硅浆料用作碳化硅回收；获得的贫碳化硅悬浮液经固液分离装置进行固液分离，固液分离的温度为常温或在50℃～80℃；对固液分离所得液体加入稳定剂，在70℃～130℃下反应1～12小时，反应完毕后，对贫碳化硅悬浮液冷却至适合机械过滤的温度，过滤掉贫碳化硅悬浮液中的固体颗粒后得到回收的切割液。
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