[发明专利]从硅片切割加工副产物中回收切割液的方法

权利要求书

1、一种从硅片切割加工副产物中回收切割液的方法，其特征在于：硅片切割加工副产物经混合均匀后，加入分离剂，用量为5～50％，混合温度为常温或50～80℃；用传送机械送入机械分离器；由机械分离器获得50～95％的富碳化硅浆料和5～50％的贫碳化硅悬浮液；富碳化硅浆料用作碳化硅回收；获得的贫碳化硅悬浮液经固液分离装置进行固液分离，固液分离的温度为常温或在50℃～80℃；对固液分离所得液体加入稳定剂，在70℃～130℃下反应1～12小时，反应完毕后，对贫碳化硅悬浮液冷却至适合机械过滤的温度，过滤掉贫碳化硅悬浮液中的固体颗粒后得到回收的切割液。

2、根据权利要求1所述从硅片切割加工副产物回收切割液的方法，其特征在于：硅片切割加工副产物包括太阳能级硅片切割加工副产物和电子级硅片切割加工副产物。

3、根据权利要求1所述从硅片切割加工副产物回收切割液的方法，其特征是：在过滤掉贫碳化硅悬浮液中的固体颗粒后得到回收的切割液时，对过滤掉贫碳化硅悬浮液中的固体颗粒后得到的液体再进行液液分离，去除该液体中的低沸物后，获得回收的切割液；所述液液分离用的蒸馏方法包括常压蒸馏或减压蒸馏或加压蒸馏。

4、根据权利要求1或3所述从硅片切割加工副产物回收切割液的方法，其特征在于：回收的切割液用于硅片切割加工过程。

5、根据权利要求1所述从硅片切割加工副产物回收切割液的方法，其特征在于，所述分离剂包括下述物质中的一种或多种的混合物：

a、乙二醇、二乙二醇、三乙二醇、平均分子量200～10000Dalton的聚乙二醇；

b、非离子表面活性剂；

c、聚氧乙烯仲烷基醇醚渗透剂；

d、黏度调节剂，该黏度调节剂的主要成分为含多羟基的聚丙烯酸酯。

6、根据权利要求1所述从硅片切割加工副产物回收切割液的方法，其特征在于：机械分离器包括沉降池、刮板沉降器、斜板沉降器、卧式离心机、立式离心机、管式离心机和旋流器中的一种或几种组合；机械分离器的操作温度为5～80℃。

7、根据权利要求1所述从硅片切割加工副产物回收切割液的方法，其特征在于：贫碳化硅悬浮液主要含有可用作切割液的混合液、硅粉及少量碳化硅；所述富碳化硅浆料用作后道工序回收碳化硅；固液分离所获得的固体用作多晶硅或单晶硅的回收。

8、根据权利要求书1所述从硅片切割加工副产物回收切割液的方法，其特征在于：贫碳化硅悬浮液所用的固液分离装置包括沉降池、刮板沉降器、斜板沉降器、卧式离心机、立式离心机、管式离心机、旋流器、板式过滤机、离心过滤机中的一种或几种组合。

9、根据权利要求1所述从硅片切割加工副产物回收切割液的方法，其特征是：所述稳定剂为过氧化氢异丙苯、过氧化苯甲酰胺、过氧化氢、次氯酸钠中的一种或几种混合物，用量为0.05～3％。

10、根据权利要求5所述从硅片切割加工副产物回收切割液的方法，其特征是：所述的乙二醇包括乙二醇单甲醚、乙二醇二甲醚、乙二醇单乙醚、乙二醇双乙醚、乙二醇单丁醚；

所述平均分子量200～10000Dalton的聚乙二醇包括聚乙二醇单油酸酯、聚乙二醇双油酸酯、聚乙二醇单硬脂酸酯、聚乙二醇双硬脂酸酯。