[发明专利]作为腐蚀抑制剂的肌胺酸化合物有效
| 申请号： | 200810008014.2 | 申请日： | 2008-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN101525751A | 公开（公告）日： | 2009-09-09 |
| 发明（设计）人： | 张松源 | 申请（专利权）人： | 盟智科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23F11/173 | 分类号： | C23F11/173 |
| 代理公司： | 北京申翔知识产权代理有限公司 | 代理人： | 周春发 |
| 地址： | 台湾省桃*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明中作为腐蚀抑制剂的肌胺酸化合物为肌胺酸及其盐类化合物，该腐蚀抑制剂用于化学机械研磨组成物，可于化学机械研磨时于加工对象的表面形成一层保护膜，以避免加工对象受到腐蚀，亦可改良因使用习有腐蚀抑制剂(例如苯并三唑；BTA)，而于加工对象表面形成残渣的缺失。本发明最能显示发明特征的化学式如上所示。 | ||
| 搜索关键词： | 作为 腐蚀 抑制剂 酸化 | ||
【主权项】：
1、一种作为腐蚀抑制剂的肌胺酸化合物，该腐蚀抑制剂用于化学机械研磨组成物中，其中，该腐蚀抑制剂为肌胺酸及其盐类化合物或其组合物。
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