[发明专利]作为腐蚀抑制剂的肌胺酸化合物有效
| 申请号： | 200810008014.2 | 申请日： | 2008-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN101525751A | 公开（公告）日： | 2009-09-09 |
| 发明（设计）人： | 张松源 | 申请（专利权）人： | 盟智科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23F11/173 | 分类号： | C23F11/173 |
| 代理公司： | 北京申翔知识产权代理有限公司 | 代理人： | 周春发 |
| 地址： | 台湾省桃*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 作为 腐蚀 抑制剂 酸化 | ||
【权利要求书】：
1.一种化学机械研磨组成物，包含磨粒、氧化剂、加速剂、抑制 剂、溶剂以及一肌胺酸化合物或其盐作为腐蚀抑制剂，其中该肌胺酸 化合物具有下式：
其中R为氢、N-酰基、月桂酰基、椰油酰基、油酰基、硬脂酰 基或肉荳蔻酰基；
其中该抑制剂选自于由咪唑啉类化合物及三唑类化合物所构成 的组群。
2.如权利要求1所述化学机械研磨组成物，其中该盐选自于由锂 盐、钠盐、钾盐和胺盐所构成的群组中。
3.如权利要求1所述化学机械研磨组成物，其中该肌胺酸化合物 或其盐为月桂酰肌胺酸或其钠盐。
4.如权利要求1所述化学机械研磨组成物，其中该肌胺酸化合物 或其盐为椰油酰肌胺酸或其钠盐。
5.如权利要求1所述化学机械研磨组成物，其中该磨粒为二氧化 硅溶胶，且该磨粒占组成物总重的0.01至30％。
6.如权利要求1所述化学机械研磨组成物，其中该加速剂占组成 物总重的0.01至5％。
7.如权利要求1所述化学机械研磨组成物，其中该抑制剂占组成 物总重的0.0001至1％。
8.如权利要求1所述化学机械研磨组成物，其中该腐蚀抑制剂占 组成物总重的0.0001至1％。
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