[发明专利]蒸发坩埚和具有合适的蒸发特性的蒸发设备无效
| 申请号： | 200810006547.7 | 申请日： | 2008-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN101265567A | 公开（公告）日： | 2008-09-17 |
| 发明（设计）人： | 霍尔格·澳尔巴赫;海尔马特·格瑞姆 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 赵飞 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明描述了一种蒸发坩锅。所述蒸发坩锅(100；300；400；500)包括：导电主体(120)和盖(150；500)；所述主体具有用于施加通过所述主体的加热电流的第一电连接(162)和第二电连接(164)，所述主体包括提供熔融蒸发区域的腔(130)，所述腔包括腔底和腔壁，其中所述盖与所述腔形成封闭空间；进料开口(134；430)，用于进料材料；以及分配孔(170；571；572)，提供所述封闭空间的蒸汽出口。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发 坩埚 具有 合适 特性 设备 | ||
【主权项】：
1.一种蒸发坩锅(100；300；400；500)，包括：导电主体(120)和盖(150；500)；所述主体具有用于施加通过所述主体的加热电流的第一电连接(162)和第二电连接(164)，所述主体包括提供熔融蒸发区域的腔(130)，所述腔包括腔底和腔壁，其中所述盖与所述腔形成封闭空间；进料开口(134；430)，用于进料材料；以及分配孔(170；571；572)，提供所述封闭空间的蒸汽出口。
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