[发明专利]蒸发坩埚和具有合适的蒸发特性的蒸发设备

权利要求书

1.一种蒸发坩锅(100；300；400；500)，包括：

导电主体(120)和盖(150；500)；

所述主体具有用于施加通过所述主体的加热电流的第一电连接(162)和第二电连接(164)，所述主体包括提供熔融蒸发区域的腔(130)，所述腔包括腔底和腔壁，其中所述盖与所述腔形成封闭空间；

进料开口(134；430)，用于进料材料；以及

分配孔(170；571；572)，提供所述封闭空间的蒸汽出口。

2.如权利要求1所述的蒸发坩锅，还包括：

第一和第二加热部分(124)，其紧邻所述腔设置，并且被分别设置在所述腔和所述第一电连接之间和所述腔和所述第二电连接之间，其中所述加热部分的电阻率高于所述电连接(162，164)的电阻率。

3.一种蒸发坩锅，包括：

导电主体(120)，其具有用于施加通过所述主体的加热电流的第一电连接(162)和第二电连接(164)，所述主体包括提供熔融蒸发区域的腔(130)，所述腔包括腔底和腔壁；

第一和第二加热部分(124)，其紧邻所述腔设置，并且被分别设置在所述腔和所述第一电连接之间和所述腔和所述第二电连接之间；

进料开口(134；430)，用于进料材料。

4.如权利要求3所述的蒸发坩锅，还包括：

盖(150；500)，其与所述腔(130)形成封闭空间；以及

分配孔(170；571；572)，提供所述封闭空间的蒸汽出口。

5.如权利要求1-4中任意一项所述的蒸发坩锅，其中

所述第一电连接(162)和所述第二电连接(164)提供所述蒸发坩锅的轴线，并且，沿所述轴线的和垂直于所述轴线的腔尺寸基本相似。

6.如权利要求1-5中任意一项所述的蒸发坩锅，其中

所述腔是罐形的。

7.如权利要求1-6中任意一项所述的蒸发坩锅，其中

所述腔(130)是基本圆筒形的。

8.如权利要求1-7中任意一项所述的蒸发坩锅，其中

所述分配孔(170；571；572)穿过腔壁部分设置。

9.如权利要求1-8中任意一项所述的蒸发坩锅，其中

所述进料开口(134；430)穿过腔壁部分设置。

10.如权利要求1-9中任意一项所述的蒸发坩锅，其中

所述加热部分(124)的横截面积小于所述电连接的横截面积。

11.如权利要求1-4中任意一项所述的蒸发坩锅，其中所述第一电连接(162)和所述第二电连接(164)提供所述蒸发坩锅的轴线，并且所述分配孔设置在相对于所述轴线偏离轴线的腔壁部分处。

12.如权利要求1-11中任意一项所述的蒸发坩锅，其中所述第一电连接和所述第二电连接提供所述蒸发坩锅的轴线，并且所述进料开口(430)设置在处于所述轴线上的腔壁部分处。

13.如权利要求1-12中任意一项所述的蒸发坩锅，其中所述第一电连接和所述第二电连接提供所述蒸发坩锅的轴线，并且所述进料开口(134)设置在相对于所述轴线偏离轴线的腔壁部分处。

14.如权利要求1-13中任意一项所述的蒸发坩锅，其中所述主体(120)包含至少一种选自由金属硼化物、金属氮化物、金属碳化物、非金属硼化物、非金属氮化物、非金属碳化物、氮化物、硼化物、石墨及其组合组成的组的材料。

15.如权利要求1-14中任意一项所述的蒸发坩锅，其中所述分配孔具有蒸发轴线，所述蒸发轴线是基本水平的。

16.如权利要求1-15中任意一项所述的蒸发坩锅，其中所述分配孔具有蒸发轴线，并且所述分配孔具有2mm-10mm的沿所述蒸发轴线的长度。

17.如权利要求1-16中任意一项所述的蒸发坩锅，其中所述分配孔的直径为至少2mm。

18.如权利要求1-2或4-17中任意一项所述的蒸发坩锅，其中所述盖(150；550)包含非导体材料。