[发明专利]用于在真空室内移动托架的结构无效
| 申请号： | 200810006500.0 | 申请日： | 2008-02-29 |
| 公开（公告）号： | CN101270473A | 公开（公告）日： | 2008-09-24 |
| 发明（设计）人： | 埃德加·哈勃科恩;苏珊娜·施拉费尔 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C16/50 | 分类号： | C23C16/50 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 赵飞 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种用于在真空室内移动托架的结构。此托架形成为板形并被支撑为其狭窄侧边缘位于由驱动系统驱动的辊上。优选地利用磁性耦合作为间接驱动器，其部分位于真空室内并部分位于真空室外。在沿着竖直方向作用的力的帮助下，磁性耦合的两个部件可以相对于彼此发生位移。此外，托架的水平位移也是可能的。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 真空 室内 移动 托架 结构 | ||
【主权项】：
1.一种用于在处理室内移动托架(11)的结构，所述处理室具体而言是真空室(1)，其中所述托架(11)形成为板形并借助于驱动辊(12)可直线移动，其特征在于，所述驱动辊(12、24)可以借助于提升机构(30、31)朝向所述托架(11)的狭窄侧移动以及远离所述托架(11)的狭窄侧移动。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于应用材料公司，未经应用材料公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200810006500.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：泵供液型氨制冷装置用空气冷却器制冷剂侧性能试验装置
- 下一篇：电动切换阀
- 同类专利
- 专利分类
C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
