[发明专利]用于在真空室内移动托架的结构无效
| 申请号： | 200810006500.0 | 申请日： | 2008-02-29 |
| 公开（公告）号： | CN101270473A | 公开（公告）日： | 2008-09-24 |
| 发明（设计）人： | 埃德加·哈勃科恩;苏珊娜·施拉费尔 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C16/50 | 分类号： | C23C16/50 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 赵飞 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 真空 室内 移动 托架 结构 | ||
1.一种用于在处理室内移动托架(11)的结构，所述处理室具体而言是真空室(1)，其中所述托架(11)形成为板形并借助于驱动辊(12)可直线移动，其特征在于，所述驱动辊(12、24)可以借助于提升机构(30、31)朝向所述托架(11)的狭窄侧移动以及远离所述托架(11)的狭窄侧移动。
2.根据权利要求1所述的结构，其特征在于，所述驱动辊(12、24)搁置在运输梁(17)上，并且所述提升机构(30，31)与所述运输梁(17)连接。
3.根据权利要求1所述的结构，其特征在于，所述驱动辊(12、24)与磁性耦合装置(74)耦合。
4.根据权利要求3所述的结构，其特征在于，所述磁性耦合装置包括位于所述室(1)内的第一部件(19)和位于所述室(1)外的第二部件(20)。
5.根据权利要求1所述的结构，其特征在于，所述托架(11)具有至少一个开口。
6.根据权利要求1所述的结构，其特征在于，所述托架(11)包括孔(40)。
7.根据权利要求1或6中任一项所述的结构，其特征在于，设置能够延伸经过所述孔(40)并支撑所述托架(11)的钩子(14)。
8.根据权利要求1所述的结构，其特征在于，所述托架(11)包括销，所述钩子(14)配合在所述销上。
9.根据权利要求7所述的结构，其特征在于，所述钩子(14)可垂直于所述托架(11)的表面移动。
10.根据权利要求9所述的结构，其特征在于，设置用于移动所述钩子(14)的驱动器，所述驱动器位于所述室(1)的外部。
11.根据权利要求4所述的结构，其特征在于，所述磁性耦合装置的所述第一部件(19)和所述第二部件(20)在所述托架(11)的第一位置的情况下彼此对称相对地布置，并在所述托架(11)的第二位置的情况下相对于彼此布置在竖直方向上。
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C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
