[发明专利]圆盘状基板的磨削方法、磨削装置有效
| 申请号： | 200810003054.8 | 申请日： | 2008-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN101224552A | 公开（公告）日： | 2008-07-23 |
| 发明（设计）人： | 羽根田和幸;藤波聪 | 申请（专利权）人： | 昭和电工株式会社;西铁城精密株式会社 |
| 主分类号： | B24B7/20 | 分类号： | B24B7/20;H01L21/304;B24B29/00;B24B37/04 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 党晓林 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供圆盘状基板的磨削方法、磨削装置，能够利用圆盘状基板的外周磨削和内周磨削，在磨削后的内周及外周提高同心度。圆盘状基板(10)的磨削方法一边使在中央具有开孔的圆盘状基板(10)旋转一边对其进行磨削，其中，一边将内周磨石(31)朝向外周方向(C方向)进给一边磨削圆盘状基板(10)的内周(12)，并且，一边将外周磨石(51)朝向内周方向(A方向)进给一边磨削圆盘状基板(10)的外周(13)，且使该内周磨石(31)和外周磨石(51)的进给大致同时停止。 | ||
| 搜索关键词： | 圆盘 状基板 磨削 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种圆盘状基板的磨削方法，该磨削方法一边使在中央具有开孔的圆盘状基板旋转一边对其进行磨削，其特征在于，一边将内周磨削单元朝向所述圆盘状基板的外周在半径方向上进给一边磨削该圆盘状基板的内周，并且，一边将外周磨削单元朝向该圆盘状基板的内周在半径方向上进给一边磨削该圆盘状基板的外周，使所述内周磨削单元和所述外周磨削单元的进给同时停止。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于昭和电工株式会社;西铁城精密株式会社，未经昭和电工株式会社;西铁城精密株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200810003054.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：具警示装置的钓鱼卷线器
- 下一篇：桌腿合叶
