[发明专利]基板输送系统有效
| 申请号： | 200780052436.3 | 申请日： | 2007-04-05 |
| 公开（公告）号： | CN101652302A | 公开（公告）日： | 2010-02-17 |
| 发明（设计）人： | 秋月直 | 申请（专利权）人： | 平田机工株式会社 |
| 主分类号： | B65G49/06 | 分类号： | B65G49/06;H01L21/677 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 史雁鸣 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 基板输送系统，具备在预定的轨道(R)上往复移动的移动单元(10)，在沿轨道(R)配置的多个装置之中，从成为基板的输出原位的装置(210)向成为输出目的地的装置(220)输送基板，其中具备：配置在成为基板的输出原位的各个装置(211、212、213)的每个上，载置从成为基板的输出原位的装置输出的基板的载置台(20)；设置在移动单元(10)上，使载置在载置台上的基板升降的升降单元(30)，载置台具备：载置从成为基板的输出原位的装置输出的基板的载置单元(21)；在轨道(R)上且与移动单元(10)相比在上方支承载置单元的支承构件(22)，载置单元具有：在移动单元(10)移动及升降单元(30)升降之际，升降单元(30)通过的通过空间(S)。 | ||
| 搜索关键词： | 输送 系统 | ||
【主权项】：
1.一种基板输送系统，所述基板输送系统具备在预定的轨道上往复移动的移动单元，在沿上述轨道配置的多个装置之中，从成为基板的输出原位的装置向成为输出目的地的装置输送基板，其特征在于，具备：配置在成为基板的输出原位的各个上述装置的每个上，载置从成为基板的输出原位的上述装置输出的基板的载置台；设置在上述移动单元上，使载置在上述载置台上的基板升降的升降单元，上述载置台具备：载置从成为基板的输出原位的上述装置输出的基板的载置单元；在上述轨道上，与上述移动单元相比在上方支承上述载置单元的支承构件，上述载置单元具有：在上述移动单元移动及上述升降单元升降之际，上述升降单元通过的通过空间。
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