[发明专利]基板输送系统

说明书

技术领域

本发明涉及输送基板的技术。

背景技术

在液晶显示器、等离子体显示器等FPD(平板显示器)制 造生产线上，需要在多段地收容基板的盒和进行各种处理的处理装置 之间输送基板。

在专利文献1中，公开了如下的技术：载置从盒输出的基 板的载置台和将载置在载置台上的基板投入到处理装置内的臂一体 化，载置台在行驶轨道上移动，以便能够相对于多个盒和处理装置而 言输送基板。

在专利文献2中，公开了载置从盒输出的基板的传送机沿 行驶轨道在多个盒和处理装置之间移动的技术。 专利文献1：日本专利特开2005-64432号公报 专利文献1：日本专利特开2004-284772号公报 专利文献1：日本专利特开2004-292094号公报

发明内容

但是，在专利文献1及2公开的技术中，因为载置从盒输 出的基板的载置台(例如，传送机)自身移动到成为下道工序的处理 装置等的面前才传送基板，所以直到载置台返回到盒的面前为止需要 时间。即，这个期间因为不能从处理装置向载置台输出基板，所以会 成为阻碍循环时间提高的主要原因。

因此，本发明的目的在于提高从成为基板的输出原位的装 置到成为基板的输出目的地的装置之间的基板的输送效率。

为了解决上述课题，在本发明中，提供一种基板输送系统， 所述基板输送系统具备在预定的轨道上往复移动的移动单元，在沿上 述轨道配置的多个装置之中，从成为基板的输出原位的装置向成为输 出目的地的装置输送基板，其特征在于，具备：配置在成为基板的输 出原位的各个上述装置的每个上，载置从成为基板的输出原位的上述 装置输出的基板的载置台；设置在上述移动单元上，使载置在上述载 置台上的基板升降的升降单元，上述载置台具备：载置从成为基板的 输出原位的上述装置输出的基板的载置单元；在上述轨道上，与上述 移动单元相比在上方支承上述载置单元的支承构件，上述载置单元具 有：在上述移动单元移动及上述升降单元升降之际，上述升降单元通 过的通过空间。

根据此结构，上述载置单元，因为在上述移动单元移动及 上述升降单元升降之际，具有上述升降单元通过的通过空间，所以能 够在通过上述载置台后进行移动及升降。即，即使在上述移动单元在 从成为基板的输出原位的上述装置到成为基板的输出目的地的上述装 置之间进行移动的期间，也能够向上述载置单元上输出基板，因此， 能够提高从成为基板的输出原位的上述装置输出的基板到成为基板的 输出目的地的上述装置之间的基板的输送效率。

附图说明

图1是本发明的第一实施方式的基板输送系统100的整体立体图。 图2A是第一实施方式的载置台20的俯视图。 图2B是第一实施方式的升降单元30的俯视图。 图2C是使图2A及图2B重合的图。 图3是从图2B所示的方向a观看的载置台50的侧视图。 图4A是表示基板输送系统100的动作顺序的图。 图4B是表示基板输送系统100的动作顺序的图。 图4C是表示基板输送系统100的动作顺序的图。 图4D是表示基板输送系统100的动作顺序的图。 图4E是表示基板输送系统100的动作顺序的图。 图5A是表示吸附单元21b的动作顺序的图。 图5B是表示吸附单元21b的动作顺序的图。 图5C是表示吸附单元21b的动作顺序的图。 图5D是表示吸附单元21b的动作顺序的图。 图5E是表示吸附单元21b的动作顺序的图。 图5F是表示吸附单元21b的动作顺序的图。 图6是第一实施方式的变形例1的载置单元21的俯视图。 图7是第二实施方式的基板输送系统300的整体立体图。 图8是基板收容装置410的分解立体图。 图9A是表示基板收容装置410的基板输出处理的动作顺序的图。 图9B是表示基板收容装置410的基板输出处理的动作顺序的图。

具体实施方式

<第一实施方式> 图1是本发明的第一实施方式的基板输送系统100的整体立体图。 基板输送系统100是如下的系统：具备在预定的轨道R上往复移动的 移动单元10，在沿轨道R配置的多个基板处理装置200中从成为基板 的输出原位的基板处理装置210向成为输出目的地的基板处理装置 220输送基板。