[发明专利]基板输送系统

权利要求书

1.一种基板输送系统，所述基板输送系统具备在预定的轨道上往 复移动的移动单元，在沿上述轨道配置的多个装置之中，从成为基板 的输出原位的装置向成为输出目的地的装置输送基板，其特征在于， 具备：

配置在成为基板的输出原位的各个上述装置的每个上，载置从成 为基板的输出原位的上述装置输出的基板的载置台；

设置在上述移动单元上，使载置在上述载置台上的基板升降的升 降单元，

上述载置台具备：

载置从成为基板的输出原位的上述装置输出的基板的载置单元；

在上述轨道上，与上述移动单元相比在上方支承上述载置单元的 支承构件，

上述载置单元具有：

在上述移动单元移动及上述升降单元升降之际，上述升降单元通 过的通过空间。

2.如权利要求1所述的基板输送系统，其特征在于，

上述升降单元具备：

在与上述轨道正交的方向上延伸，载置基板的载置部；

直立设置在上述移动单元上，支承上述载置部的支柱部，

上述通过空间具有：

上述载置部通过的第一通过空间；

上述支柱部通过的第二通过空间。

3.如权利要求1所述的基板输送系统，其特征在于，

上述载置单元由具备载置上述基板的多个辊的多个辊单元构成，

上述通过空间形成在上述辊单元之间。

4.如权利要求1所述的基板输送系统，其特征在于，

上述载置单元由多个使基板浮动的空气喷出单元构成，上述多个 空气喷出单元具有形成了多个喷出空气的喷出口的上面，

上述通过空间形成在上述空气喷出单元之间。

5.如权利要求3所述的基板输送系统，其特征在于，

上述辊单元至少具备使某一个上述辊旋转的驱动机构。

6.如权利要求3所述的基板输送系统，其特征在于，

上述辊是从动辊，

上述载置单元具备保持基板并使之移动到上述载置单元上的预定 的位置的移动机构。

7.如权利要求4所述的基板输送系统，其特征在于，

上述载置单元具备保持基板并使之移动到上述载置单元上的预定 的位置的移动机构。

8.一种基板输送系统，所述基板输送系统具备在预定的轨道上往 复移动的移动单元，从沿上述轨道配置并在上下方向具备多个以水平 姿势支承基板的基板支承部的多个基板收容装置向沿上述轨道配置的 基板处理装置输送基板，其特征在于，具备：

配置在各个上述基板收容装置的每个上，以水平姿势载置从上述 基板收容装置输出的基板的载置台；

设置在上述移动单元上，使载置在上述载置台上的基板升降的升 降单元，

上述载置台具备：

载置从上述基板收容装置输出的基板的载置单元；

在上述轨道上，与上述移动单元相比在上方支承上述载置单元的 支承构件，

上述载置单元具有在上述移动单元移动及上述升降单元升降之 际，上述升降单元通过的通过空间。