[发明专利]晶体管器件和制造这一晶体管器件的方法有效

专利信息
申请号: 200780046404.2 申请日: 2007-12-10
公开(公告)号: CN101558497A 公开(公告)日: 2009-10-14
发明(设计)人: 塞巴斯蒂安·努汀克;吉尔贝托·库拉托拉 申请(专利权)人: NXP股份有限公司
主分类号: H01L29/739 分类号: H01L29/739
代理公司: 北京天昊联合知识产权代理有限公司 代理人: 陈 源;张天舒
地址: 荷兰艾*** 国省代码: 荷兰;NL
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摘要: 一种晶体管器件(10),该晶体管器件(10)包括:衬底(11,14);在衬底(11,14)上沿着水平方向成一条直线的鳍(3,3A);鳍(3,3A)中的第一种电导类型的第一源极/漏极区域(4);鳍(3,3A)中的第二种电导类型的第二源极/漏极区域(5),其中第一种电导类型不同于第二种电导类型;在鳍(3,3A)中介于第一源极/漏极区域(4)与第二源极/漏极区域(5)之间的沟道区域(33);沟道区域(33)上的栅极绝缘体(6);和在栅极绝缘体(6)上的栅极结构(7,8),其中第一源极/漏极区域(4)、沟道区域(33)和第二源极/漏极区域(5)的序列沿着水平方向成一条直线。
搜索关键词: 晶体管 器件 制造 方法
【主权项】:
1.一种晶体管器件(10),该晶体管器件(10)包括衬底(11,14);在衬底(11,14)上沿着水平方向延伸的鳍(3,3A);鳍(3,3A)中的第一种电导类型的第一源极/漏极区域(4);鳍(3,3A)中的第二种电导类型的第二源极/漏极区域(5),其中第一种电导类型不同于第二种电导类型;鳍(3,3A)中介于第一源极/漏极区域(4)与第二源极/漏极区域(5)之间的沟道区域(33);沟道区域(33)上的栅极绝缘体(6);栅极绝缘体(6)上的栅极结构(7,8);其中,在水平方向上,沟道区域(33)在第一源极/漏极区域(4)和第二源极/漏极区域(5)之间延伸。
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