[发明专利]光学设备用检查装置有效
| 申请号： | 200780042080.5 | 申请日： | 2007-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN101583860A | 公开（公告）日： | 2009-11-18 |
| 发明（设计）人： | 大泽茂巳;小室一真 | 申请（专利权）人： | 日本电子材料株式会社 |
| 主分类号： | G01M11/00 | 分类号： | G01M11/00;G01R1/073;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京汇泽知识产权代理有限公司 | 代理人： | 黄 挺 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明旨在提供比以往装置更可自由设定多个采集、且对光学传感器相对微透镜发生偏移的光学设备，仍可正确进行检查的光学设备检查用装置。本发明配备有探卡单元和透镜单元的光学设备检查装置，所述探卡单元配备有主基板、导向板和探头，所述主基板和所述导向板上设置有开口部，所述导向板被固定于所述主基板的特定位置，并设置有数个探头插入孔，所述探头插入所述导向板的探头插入孔中并被固定，从所述插入孔突出的顶端部采取悬臂型；所述透镜单元是使用瞳孔透镜的透镜单元，被设置于所述主基板上的开口部，随着从光学系统的中心远离而使照向被检对象的光倾斜。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 备用 检查 装置 | ||
【主权项】：
1.一种光学设备用检查装置，通过向传感器区域具有数个光学传感器的光学设备照射来自光源的光来进行实验，其特征在于，在所述光源与所述光学传感器之间设置随着从光学系统的中心向周边而使照射光倾斜的瞳孔透镜。
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