[发明专利]光学设备用检查装置

权利要求书

1.一种光学设备用检查装置，配备有探卡单元与透镜单元，其特征在于，

所述探卡单元配备有主基板、导向板和探头，

所述主基板和所述导向板上设置有开口部，

所述导向板被固定于所述主基板的特定位置，并垂直地设置有数个探头插入孔，

所述探头插入所述导向板的探头插入孔中并被固定，所述探头包括有插入部及顶端部，所述插入部被插入设置于所述导向板的探头插入孔中而被固定，从所述探头插入孔突出有所述顶端部，所述插入部采取垂直型探头的形状，所述顶端部具有在从所述导向板突出的部分处弯曲，且向所述导向板的开口部方向延伸的悬臂形状，所述顶端部被设置于远离所述导向板的开口部边缘的位置处；

且所述透镜单元是使用瞳孔透镜的透镜单元，被设置于所述主基板上的开口部，随着从光学系统的中心远离而使照向被检对象的光倾斜。

2.如权利要求1所述的光学设备用检查装置，其特征在于，在所述导向板上设置槽部，在所述槽部的底部配置所述探头插入孔，并在所述槽部通过树脂固定所述探头。

3.如权利要求1或2所述的光学设备用检查装置，其特征在于，具有遮断从所述透镜单元照向所述探头的光线的光遮断部件。

4.如权利要求3所述的光学设备用检查装置，其特征在于，所述光遮断部件是所述导向板。