[发明专利]光学设备用检查装置

说明书

技术领域

本发明涉及用于检查图像传感器、固体摄像元件等被称为光学设备的光电变换元件的光学设备用检查装置。 

背景技术

在检查图像传感器、固体摄像元件等被称为光学设备的光电变换元件时，需要向图像传感器部照射光并进行性能测定。例如在固体摄像元件的情况下，根据以下方法进行检查。 

固体摄像元件1的每个芯片的尺寸为每边长10mm以下，芯片表面的中央部设置有埋有数十万到数百万个光学传感器的传感器区域2，而在传感器区域2的周围4边形成有电极焊盘3(参照图1)。 

要检查这样的固体摄像元件1的动作，可通过向传感器区域2照射光，该入射光引发的电特性可通过测定、评价取自电极焊盘3的电信号来检查。 

将悬臂型探卡上搭载透镜单元的装置用作如上进行检查的装置。如述以往检查装置中的一例公开于特开平11-26521。 

特开平11-26521中公开了将检查装置18和光学装置17一体化的装置，检查装置18的中央部具有设置有用于照射光的开口的探卡16，并使用悬臂型探头15(参照图6)。 

使用了被用于所述检查装置的以往的悬臂型探头的探卡由于未被设定为在结构上可接近检查区域，存在如下设计上的限制：即不得不采取将支持探头的部件各自独立地设置于基板上的结构。 

况且，如果逐个测定晶片上的设备，则由于检查时间变长，对于探卡而言， 需一次测定数个设备。对此，有提议使用垂直型探头的探卡。 

光学设备由微透镜和光学传感器组合构成，在边长1cm的固体摄像元件中埋有数十万到数百万个光学传感器。为使所述光学传感器更有效采光，设置有对应于所述光学传感器的微透镜。 

在使用这种光学设备的照相机中，存在有由透镜光圈决定的出射光瞳，由于随着从光学系统中心向周边远离，而照向光学传感器的入射光变得倾斜，因此为对应此倾斜，随着从中心向周边远离，光学传感器相对微透镜向外侧偏移。 

(专利文献)特开平11-26521号公报。 

发明内容

发明要解决的技术问题 

在检查所述光学传感器相对微透镜发生偏移的光学设备的传感器的输出灵敏度时，如果使用平行光线进行检查，则存在设备周边的传感器(尤其是偏移量大的传感器)的输出灵敏度下降，优质产品也会被判断为劣质产品的问题。 

因此，在以往装置中存在如下问题：制作多个采集时，照射光中形成针形影，从而对测定产生影响；或如图7所示，相对于传感器区域2是方形，而照射区域21是圆形，所以照射光给相邻芯片造成影响。为解决上述问题，在多个采集时以芯片步距(chipstep)的倾斜采集进行对应，并通过对照射光设置遮光板进行对应。 

但以往装置中的多个采集有采集倾斜的至8个采集左右的限制，随着多个采集时开口增大，会出现基板弯曲和/或针位置偏离的问题。 

本发明旨在提供可比如述以往装置更自由地设定多个采集，且即便是光学传感器相对微透镜发生偏移的光学设备，仍可正确进行检查的光学设备检查用装置。 

解决问题的技术方案 

本发明的光学设备用检查装置是通过向传感器区域具有数个光学传感器的光学设备照射来自光源的光来进行实验的光学设备用检查装置，其特征在于在所述光源与所述光学传感器之间设置随着从光学系统的中心向周边而使照射光倾斜的瞳孔透镜。 

本发明的光学设备用检查装置是配备有探卡单元与透镜单元的光学设备用检查装置，其特征在于所述探卡单元配备有主基板、导向板和探头，在所述主基板和所述导向板上设置开口部，所述导向板被固定于所述主基板的特定位置，并垂直地设置有数个探头插入孔，所述探头插入所述导向板的探头插入孔中并被固定，所述探头包括有插入部及顶端部，所述插入部被插入设置于所述导向板的探头插入孔中而被固定，从所述探头插入孔突出有所述顶端部，所述插入部采取垂直型探头的形状，所述顶端部具有在从所述导向板突出的部分处弯曲，且向所述导向板的开口部方向延伸的悬臂形状，所述顶端部被设置于远离所述导向板的开口部边缘的位置处；且所述透镜单元是使用瞳孔透镜的透镜单元，被设置于所述主基板上的开口部，随着从光学系统的中心远离而使照向被检对象的光倾斜。 

另外，优选在所述导向板上设置槽部，在所述槽部的底部配置所述探头插入孔，并在所述槽部通过树脂固定所述探头。 

还优选具有遮断从所述透镜单元照向所述探头的光线的光遮断部件。 

而且，所述光遮断部件优选是所述导向板。 

发明效果