[发明专利]用于表征探针尖端的方法与装置有效
| 申请号： | 200780013353.3 | 申请日： | 2007-02-20 |
| 公开（公告）号： | CN101473384A | 公开（公告）日： | 2009-07-01 |
| 发明（设计）人： | 格雷戈里·A·达伦;刘浩吉 | 申请（专利权）人： | 威科仪器有限公司 |
| 主分类号： | G12B21/20 | 分类号： | G12B21/20;G01N13/10 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人： | 郑小军 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种方法和装置，所述方法和装置通过表征器的单一扫描来表征凹SPM探针尖端(30)，从而与现有尖端表征技术相比，显著提高工作能力、精确度和再现性。该表征器优选地是尺寸已知，具有高水平确定度，以便最大化表征精确度的表征器。这些尺寸优选为非常稳定，或如果不稳定，则显著地变化，而非以难于或不可检测的方式变化。已经发现适合用于该目的碳纳米管(CNT)优选为单壁碳纳米管(SWCNT)。多壁碳纳米管(MWCNT)(130)和其他结构也可满足该目的。本发明还提供了用于监控CNT完整性的方法和装置。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 表征 探针 尖端 方法 装置 | ||
【主权项】：
1. 一种方法，包括：(A)以扫描探针显微镜的凹探针尖端扫描单一表征器；(B)从所述扫描获取数据，以至少确定在成像过程中能够与样品的竖直或底切特征相互作用的所述凹探针尖端的多个部分的形状；以及(C)产生下述图像中至少之一，并对其进行储存、传输和显示中至少之一的处理：(1)至少为所述尖端的所述相互作用的多个部分的形状，和(2)由含有尖端依赖图像部分的重建图像所形成的图像。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于威科仪器有限公司，未经威科仪器有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200780013353.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：导电性材料的制造方法
- 下一篇：用于箱子的能够显示破坏动作的咬合锁
