[发明专利]用于表征探针尖端的方法与装置

权利要求书

1.一种用于表征探针尖端的方法，包括：

(A)以扫描探针显微镜的凹探针尖端单次扫描单一表征器；

(B)从所述扫描获取数据，以至少确定在成像过程中能够与样品的竖 直或底切特征相互作用的所述凹探针尖端的多个部分的形状，其中所获取的 数据反映与所述多个部分的宽度和高度相关的信息，且其中通过单次扫描单 一表征器来执行所述获取的步骤；以及

(C)产生下述图像中至少之一，并对其进行储存、传输和显示中至少 之一的处理：

(1)至少为所述尖端的所述相互作用的多个部分的形状，和

(2)由含有尖端依赖图像部分的重建图像所形成的图像。

2.如权利要求1所述的方法，其中所述尖端为临界尺寸尖端，即CD尖 端，且所述获取的步骤包括获取足够数据，以确定所述尖端上的凸起的形状。

3.如权利要求2所述的方法，其中所述获取的步骤包括获取足够数据， 以确定凸起边缘半径(PER)和竖直边缘高度(VEZ)中至少之一。

4.如权利要求1所述的方法，其中所述获取的步骤以低于100纳米的批 次间偏差的再现性来获取尖端宽度数据。

5.如权利要求4所述的方法，其中所述获取的步骤以低于10纳米的批 次间偏差的再现性来获取尖端宽度数据。

6.如权利要求5所述的方法，其中所述获取的步骤以低于1纳米的批次 间偏差的再现性来获取尖端深度宽度数据。

7.如权利要求1所述的方法，其中所述表征器为碳纳米管表征器，即 CNT。

8.如权利要求7所述的方法，其中所述CNT悬挂于空隙上方。

9.如权利要求8所述的方法，其中所述CNT横跨沟槽而悬挂。

10.如权利要求7所述的方法，其中所述CNT悬挂于从基底向上延伸的 多个柱体之间。

11.如权利要求10所述的方法，其中所述CNT是悬挂于对齐的多个柱 体之间的多个CNT中的一个。

12.如权利要求10所述的方法，其中所述CNT为悬挂于一柱体阵列之 间的多个CNT中的一个，且其中所述扫描的步骤包括扫描至少两个彼此沿 不同方向延伸的CNT。

13.如权利要求7所述的方法，其中所述CNT为圆形CNT，以及其中 所述扫描的步骤包括扫描所述圆形CNT的至少两个不同的弓形部分。

14.如权利要求7所述的方法，其中所述CNT为单壁碳纳米管，即 SWCNT。

15.如权利要求1所述的方法，进一步包括：在所述扫描的步骤之前或 所述扫描的步骤期间，原位监控所述表征器的完整性。

16.如权利要求15所述的方法，其中所述监控的步骤包括：如果所述表 征器的电阻率或反映表征器电阻率的特征超过指定的阈值或变化值，确定所 述表征器的完整性已经受到损害。

17.如权利要求16所述的方法，其中所述监控的步骤通过原位监控所述 表征器的电阻率而被动地执行。

18.如权利要求16所述的方法，其中所述监控的步骤通过监控表征器对 施加在所述表征器上的力的响应而主动地执行。

19.如权利要求1所述的方法，其中所述扫描的步骤包括：使含有所述 表征器的基底接合所述探针尖端；定位所述表征器；以及在短于5分钟的时 间内扫描所述表征器。

20.如权利要求19所述的方法，其中所述扫描和获取的步骤在短于3分 钟的时间内执行。

21.如权利要求19所述的方法，其中所述扫描和获取的步骤在1分钟或 更短的时间内执行。

22.如权利要求19所述的方法，其中所述获取的步骤以低于10纳米的 批次间偏差的再现性来获取尖端宽度数据。