[发明专利]液滴沉积装置有效
| 申请号： | 200780011767.2 | 申请日： | 2007-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN101415561A | 公开（公告）日： | 2009-04-22 |
| 发明（设计）人： | 保罗·雷蒙德·特鲁里;斯蒂芬·坦普尔 | 申请（专利权）人： | XAAR科技有限公司 |
| 主分类号： | B41J2/14 | 分类号： | B41J2/14 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 党晓林 |
| 地址： | 英国*** | 国省代码： | 英国;GB |
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| 摘要： | 本发明涉及一种液滴沉积装置，该装置包括一列流体腔室，所述腔室由一对相对的腔室壁限定，并与用于喷射液滴的喷嘴流体连通；盖件接合至腔室壁的边缘，从而密封所述腔室的一侧。盖件的盖件厚度与腔室壁间距之比小于等于1∶1。 | ||
| 搜索关键词： | 沉积 装置 | ||
【主权项】：
1、一种液滴沉积装置，该装置包括：一列流体腔室，每个流体腔室均由一对通过一定腔室壁间距相互分隔开的相对腔室壁限定，并与用于喷射液滴的喷嘴流体连通；盖件，该盖件接合至所述腔室壁的边缘，从而密封所述腔室的一侧，该盖件具有盖件厚度；其中，盖件厚度与腔室壁间距之比小于等于1：1。
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