[发明专利]液滴沉积装置

权利要求书

1.一种液滴沉积装置，该装置包括：

一列流体腔室，每个流体腔室均由一对通过一定腔室壁间距相互分 隔开的相对的可致动的腔室壁限定，并与用于喷射液滴的喷嘴流体连通， 所述相对的可致动的腔室壁包括压电材料并在被施加电场时以V型构造 的剪切模式变形，其中所述腔室壁的顶部和底部以相反方式变形；

盖件，该盖件接合至所述可致动的腔室壁的边缘，从而密封所述腔 室的顶部，该盖件具有盖件厚度，所述喷嘴形成在所述盖件中；

其中，盖件厚度与腔室壁间距之比小于等于1：1，其中所述盖件的 杨氏模量小于等于100×10⁹N/m²。

2.根据权利要求1所述的装置，其中盖件厚度与腔室壁间距之比小 于等于1：5。

3.根据权利要求1所述的装置，其中所述盖件的厚度小于150μm。

4.根据权利要求3所述的装置，其中所述盖件的厚度小于等于 100μm。

5.根据权利要求4所述的装置，其中所述盖件的厚度小于等于50μm。

6.根据权利要求1所述的装置，其中所述盖件远离所述腔室延伸而 界定流体歧管区域。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的装置，其中所述盖件由聚合 物形成。

8.根据权利要求7所述的装置，其中所述盖件由聚酰亚胺形成。

9.根据权利要求1至6中任一项所述的装置，其中所述盖件由合金 形成。

10.根据权利要求1至6中任一项所述的装置，其中所述盖件为金 属复合物盖件。

11.根据权利要求1至6中任一项所述的装置，其中所述盖件由光 刻胶材料形成，其中所述光刻胶材料为SU-8。