[发明专利]主盘曝光设备和用于主盘曝光设备的调整方法

摘要

一种主盘曝光设备具有：用于转动主盘的转盘；用于在至少一个方向上水平移动转盘的移动装置；用于将电子束照射到该转盘上的波束照射装置，从而将束点形成于转盘或者主盘；用于偏移波束的波束偏移装置；和用于控制移动装置、波束照射装置和波束偏移装置的控制装置，其中控制装置包括初始化装置，用于在启动时执行初始操作来驱动该移动装置或者该波束偏移装置中的至少一个，使得该束点的原点与该转盘的转动中心重合。因此提供一种用于容易地调整记录波束的照射位置的原点与转盘的转动中心之间的偏移的设备和方法。

主权项

1、一种主盘曝光设备，该主盘曝光设备包括：用于转动主盘的转盘；用于在至少一个方向上水平移动所述转盘的移动装置；用于将电子束照射到所述转盘从而将束点形成于所述转盘或者所述主盘上的波束照射装置；用于偏移所述波束的波束偏移装置；和用于控制所述移动装置、所述波束照射装置以及所述波束偏移装置的控制装置，其特征在于：所述控制装置包括初始化装置，其用于在启动时执行初始操作来驱动所述移动装置或者所述波束偏移装置中的至少一个，使所述束点的原点与所述转盘的转动中心重合。