[发明专利]在综合氯硅烷厂中回收利用高沸点化合物的方法无效
| 申请号： | 200780004005.X | 申请日： | 2007-02-21 |
| 公开（公告）号： | CN101378991A | 公开（公告）日： | 2009-03-04 |
| 发明（设计）人： | U·佩措尔德;M·尼梅茨 | 申请（专利权）人： | 瓦克化学有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/18 | 分类号： | C01B33/18 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 戈泊 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及热解法二氧化硅的制备方法，其特征在于冷凝由氯硅烷和氢构成的沉积多晶硅的废气，随后在蒸馏塔中分离，该蒸馏塔的底物是由0.5－20重量％的高沸点氯硅烷和99.5－80重量％的四氯化硅组成的高沸点化合物馏分，和将该高沸点化合物馏分完全蒸发，并将氯硅烷蒸汽供料到燃烧器中，在燃烧器中其在火焰中与空气或氧及氢反应以提供热解法二氧化硅。 | ||
| 搜索关键词： | 综合 硅烷 回收 利用 沸点 化合物 方法 | ||
【主权项】：
1、一种用于制备热解法二氧化硅的方法，其特征在于冷凝由氯硅烷和氢沉积多晶硅的废气，随后在蒸馏塔中分馏，该蒸馏塔的底物是包括0.5-20重量％的高沸点氯硅烷和99.5-80重量％的四氯化硅的高沸点化合物馏分，然后将该高沸点化合物馏分完全蒸发，并将氯硅烷蒸汽供料到燃烧器中，在火焰中与空气或氧及氢反应以提供热解法二氧化硅。
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