[发明专利]在综合氯硅烷厂中回收利用高沸点化合物的方法

权利要求书

1.一种用于制备热解法二氧化硅的方法，其特征在于冷凝由氯硅 烷和氢沉积多晶硅的废气，随后在蒸馏塔中分馏，该蒸馏塔的底物是 包括0.5-20重量％的高沸点氯硅烷和99.5-80重量％的四氯化硅的高沸 点化合物馏分，然后将该高沸点化合物馏分完全蒸发，并将氯硅烷蒸 汽供料到燃烧器中，在火焰中与空气或氧及氢反应以提供热解法二氧 化硅，所述高沸点氯硅烷指的是二硅烷H_nCl_6-nSi₂，其中n＝0-4和二硅 氧烷H_nCl_6-nSi₂O，其中n＝0-4。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于在将高沸点化合物蒸发 并通往燃烧前，将高沸点化合物馏分在下游蒸馏步骤中再次蒸馏以进 一步分离四氯化硅。

3.如权利要求1或2所述的方法，其特征在于高沸点化合物馏分 在蒸发并通往燃烧前与氯反应。

4.如权利要求3所述的方法，其特征在于与氯的反应在UV照射 下进行。

5.如权利要求1、2和4中任一项所述的方法，其特征在于氯硅 烷蒸汽与空气或氧按0.06-0.18的混合比例存在，和氯硅烷蒸汽与氢按 0.25-0.60的混合比例存在，所述混合比例以体积比计。