[实用新型]提高太阳能电池产能制程装置

摘要

本实用新型一种提高太阳能电池产能制程装置，其包含：一真空加热腔体，该真空加热腔体设有加热器、分子涡流帮浦及干式帮浦；一真空等离子辅助化学气相沉积(PECVD)制程腔体，该真空等离子辅助化学气相沉积制程腔体设有气体供应装置、高频电极、分子涡流帮浦及干式帮浦；一真空冷却腔体，该真空冷却腔体设有冷却装置、分子涡流帮浦及干式帮浦；提供本实用新型的不同腔体作不同加工，可同时对多数组待加工物进行不同加工处理，进而提升产能、缩短加工时间、减少成本，进而达到一种提高太阳能电池产能制程装置的目的。

主权项

1.一种提高太阳能电池产能制程装置，其特征在于包含：一真空加热腔体，该真空加热腔体设有加热器、至少一个以上的分子涡流帮浦及至少一个以上的干式帮浦，又该真空加热腔体入口处设有可开闭的第一真空封合闸门，而该真空加热腔体出口处设有可开闭的第二真空封合闸门；一真空等离子辅助化学气相沉积制程腔体，该真空等离子辅助化学气相沉积制程腔体设有气体供应装置、高频电极、至少一个以上的分子涡流帮浦及至少一个以上的干式帮浦，又该真空等离子辅助化学气相沉积制程腔体与真空加热腔体间设有可开闭的第二真空封合闸门，而该真空等离子辅助化学气相沉积制程腔体出口处设有可开闭的第三真空封合闸门；一真空冷却腔体，该真空冷却腔体设有冷却装置、至少一个以上的分子涡流帮浦及至少一个以上的干式帮浦，且该真空冷却腔体与真空等离子辅助化学气相沉积制程腔体间设有可开闭的第三真空封合闸门，而该真空冷却腔体出口处亦设有可开闭的第四真空封合闸门。