[实用新型]多功能真空实验仪

摘要

本实用新型涉及一种多功能真空实验仪，它包括一个带有门的箱体、一个控制柜，门由高强度玻璃材质制成。箱体内安装有真空机组，真空机组中的四级扩散泵由高强度真空玻璃制成。箱体顶部安装有与真空机组相连的真空镀膜室、放电管，真空镀膜室由真空室底板和高强度玻璃材质制成的钟罩围成，放电管为玻璃透明体。控制柜内安装有组合集成的控制装置，控制装置与真空机组相连。控制柜、箱体的底部均安装有万向轮。本实用新型使学生在实验中能清晰、直观地观察到实验中各部分的变化过程及真空镀膜室内蒸发溅射等物理现象的全过程，能使学生更深入地理解实验原理，大大激发学生的实验兴趣，有效提高教学质量。

主权项

1.一种多功能真空实验仪，包括安装于箱体(1)内的真空机组(2)及与真空机组(2)相连的真空镀膜室(3)、放电管(4)、控制装置(5)，其特征在于所述的真空镀膜室(3)由真空室底板(3-1)和钟罩(3-2)围成，所述的钟罩(3-2)为透明体。