[实用新型]多功能真空实验仪

说明书

技术领域

本实用新型属于物理实验教学设备，尤其涉及一种实验过程直观明了的多功能真空实验仪。

背景技术

传统的真空实验仪器其组件大多为不透明的金属材质，主要物理过程无法肉眼直视，实验过程不直观，设备工作原理和过程同实际差异大，教学难度大，学生只能通过仪表间接获得物理过程，导致学生对此类实验的兴趣不高，教学效果不理想，在提高学生的实验动手能力和理论联系实际的能力方面存在一定的欠缺。

发明内容

本实用新型主要解决传统的真空实验仪实验过程只能通过仪表间接获得，不够直观，学生兴趣不高，教学目的难达到等技术问题；提供一种实验过程一目了然，学生学习兴趣高的多功能真空实验仪，改变了原来采用工业生产设备用于教学的历史，使得真空实验变得更加直观、易懂、便于操作，大大提高教学质量。

本实用新型的上述技术问题主要是通过下述技术方案得以解决的：本实用新型包括安装于箱体内的真空机组及与真空机组箱体相连的玻璃真空镀膜室、玻璃放电管、控制单元及测量系统，所述的真空镀膜室由真空室底板和钟罩围成，所述的钟罩为透明体。在做真空镀膜实验时，便于学生能清晰、直观地观察到真空镀膜室内蒸发溅射等物理现象全过程，有效激发学生的实验兴趣，提高学生的实验能力和理论联系实际的能力，加深对所学理论的理解。

作为优选，所述的箱体正面设有一扇门，所述的门为透明体。使学生在实验中能看清真空机组的构成、动作、状态，便于对实验过程的了解，深入理解实验原理，提高实验兴趣。

作为优选，所述的门由玻璃材质制成。

作为优选，所述的真空机组中的四级扩散泵由高强度真空玻璃制成。便于实验时学生能目视观察到四级扩散泵中的情况。

作为优选，所述的放电管为透明体。一般用玻璃制成，能清晰地观察到放电管中的放电情况。

作为优选，所述的控制装置组合集成在控制柜内。连接方便，也便于实验中调节、设置、观察以及检修、保养，而且部件分布合理，整体效果好。

作为优选，所述的控制柜、箱体底部设有若干万向轮。这些万向轮有足够的承重能力，便于移动。

作为优选，所述的钟罩由高强度真空玻璃材质制成。

本实用新型的有益效果是：真空镀膜室为钟罩形，采用玻璃制成，便于学生在真空镀膜实验时观察室内蒸发溅射等物理现象全过程。安装真空机组的箱体门设有一扇玻璃材质的门，四级扩散泵采用高强度真空玻璃制成，便于学生清晰地观察到实验时真空机组及四级扩散泵的变化情况，深入理解实验原理。放电管采用透明体，能清晰地观察到放电管中的放电情况。该装置能有效激发学生的实验兴趣，提高教学质量，提高学生的实验动手能力和理论联系实际的能力。

附图说明

图1是本实用新型的一种主视结构示意图。

图中1.箱体，1-1.门，2.真空机组，3.真空镀膜室，3-1.真空室底板，3-2.钟罩，4.放电管，5.控制装置，6.控制柜，7.万向轮，8.四级扩散泵。

具体实施方式

下面通过实施例，并结合附图，对本实用新型的技术方案作进一步具体的说明。

实施例1：本实施例的多功能真空实验仪，如图1所示，包括一个带有门1-1的箱体1、一个控制柜6，门1-1由高强度玻璃材质制成。箱体1内安装有真空机组2，真空机组2中的四级扩散泵8由高强度真空玻璃制成。箱体1顶部安装有真空镀膜室3、放电管4，真空镀膜室3由真空室底板3-1和钟罩3-2围成，钟罩3-2由高强度玻璃材质制成，放电管4为玻璃透明体。控制柜6内安装有组合集成的控制装置5，控制装置5与真空机组2相连，真空机组2再与真空镀膜室3、放电管4相连。控制柜6、箱体1的底部均安装有四个万向轮7。

本实施例中真空镀膜室的钟罩采用高强度真空玻璃制成，真空机组所在的箱体采用玻璃门，真空机组中的四级扩散泵采用高强度玻璃制成，放电管采用玻璃制成。本实施例可以使学生在实验中能清晰、直观地观察到实验中各部分的变化过程及真空镀膜室内蒸发溅射等物理现象的全过程，大大激发学生的实验兴趣，能使学生更深入地理解实验原理，便于提高学生的实验能力和理论联系实际的能力。控制装置组合集成在控制柜内，使仪器结构紧凑合理，便于操作。箱体和控制柜底部安装万向轮，便于移动，方便实验。

本实用新型可进行真空获得实验、真空镀膜实验、低压放电现象观察及伏安曲线的测量等实验。也可作为一个优良的真空系统平台，进行其他的真空类物理实验及测量，不仅满足了常规实验教学的要求，而且为有效开展开放性实验、课程设计、毕业论文等教学工作提供了技术与设备的支持。