[实用新型]多功能真空实验仪无效

专利信息
申请号: 200720107661.X 申请日: 2007-04-03
公开(公告)号: CN201035790Y 公开(公告)日: 2008-03-12
发明(设计)人: 龚恒翔;方学峰;郑志荣;骆冠松 申请(专利权)人: 杭州大华仪器制造有限公司
主分类号: G09B23/06 分类号: G09B23/06
代理公司: 杭州杭诚专利事务所有限公司 代理人: 尉伟敏
地址: 311401*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 多功能 真空 实验
【权利要求书】:

1.一种多功能真空实验仪,包括安装于箱体(1)内的真空机组(2)及与真空机组(2)相连的真空镀膜室(3)、放电管(4)、控制装置(5),其特征在于所述的真空镀膜室(3)由真空室底板(3-1)和钟罩(3-2)围成,所述的钟罩(3-2)为透明体。

2.根据权利要求1所述的多功能真空实验仪,其特征在于所述的箱体(1)正面设有一扇门(1-1),所述的门(1-1)为透明体。

3.根据权利要求2所述的多功能真空实验仪,其特征在于所述的门(1-1)由玻璃材质制成。

4.根据权利要求1或2所述的多功能真空实验仪,其特征在于所述的真空机组(2)中的四级扩散泵(8)由高强度真空玻璃制成。

5.根据权利要求1或2所述的多功能真空实验仪,其特征在于所述的放电管(4)为透明体。

6.根据权利要求1或2所述的多功能真空实验仪,其特征在于所述的控制装置(5)组合集成在控制柜(6)内。

7.根据权利要求6所述的多功能真空实验仪,其特征在于所述的控制柜(6)、箱体(1)底部设有若干万向轮(7)。

8.根据权利要求1或2所述的多功能真空实验仪,其特征在于所述的钟罩(3-2)由高强度真空玻璃材质制成。

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