[实用新型]一种洁净室开孔辅助治具有效
| 申请号： | 200720074479.9 | 申请日： | 2007-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN201115877Y | 公开（公告）日： | 2008-09-17 |
| 发明（设计）人： | 周树国 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | B23B47/00 | 分类号： | B23B47/00;B23B47/34;B25D17/18;B08B15/04 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人： | 屈蘅 |
| 地址： | 2012*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种洁净室开孔辅助治具，用于辅助开孔器在无尘室中对需开孔件进行无污染的开孔，该开孔器具有本体、设置在本体底端部中央的开孔刀具、用于支撑本体及开孔刀具的支架和设置在本体上驱动开孔刀具沿垂直方向运动以在需开孔件上开孔的驱动控制模块，该支架底部具有一缺口。现有技术中直接使用开孔器在洁净室中开孔时易造成粉尘污染。本实用新型的洁净室开孔辅助治具具有与该缺口形状相匹配的罩体，该罩体设置在该缺口上时恰与支架和本体组成封闭空间，该罩体上具有一供抽风装置连接的连接通道，在使用该开孔器开孔时通过该抽风装置抽风以确保该封闭空间为负压。采用本实用新型可避免在洁净室开孔时产生粉尘污染。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 洁净室 辅助 | ||
【主权项】：
1、一种洁净室开孔辅助治具，设置在一开孔器上，该开孔器具有本体、设置在本体底部中央的开孔刀具、用于支撑本体及开孔刀具的支架和设置在本体上驱动开孔刀具沿垂直方向运动以在需开孔件上开孔的驱动控制模块，该支架底部具有一缺口，其特征在于，该治具具有与该缺口形状相匹配的罩体，该罩体设置在该缺口上时恰与支架和本体组成封闭空间，该罩体上具有一供抽风装置连接的连接通道。
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