[实用新型]一种洁净室开孔辅助治具有效
申请号: | 200720074479.9 | 申请日: | 2007-09-07 |
公开(公告)号: | CN201115877Y | 公开(公告)日: | 2008-09-17 |
发明(设计)人: | 周树国 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
主分类号: | B23B47/00 | 分类号: | B23B47/00;B23B47/34;B25D17/18;B08B15/04 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人: | 屈蘅 |
地址: | 2012*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 洁净室 辅助 | ||
1、一种洁净室开孔辅助治具,设置在一开孔器上,该开孔器具有本体、设置在本体底部中央的开孔刀具、用于支撑本体及开孔刀具的支架和设置在本体上驱动开孔刀具沿垂直方向运动以在需开孔件上开孔的驱动控制模块,该支架底部具有一缺口,其特征在于,该治具具有与该缺口形状相匹配的罩体,该罩体设置在该缺口上时恰与支架和本体组成封闭空间,该罩体上具有一供抽风装置连接的连接通道。
2、如权利要求1所述的洁净室开孔辅助治具,其特征在于,该缺口为弧面缺口,相应地该罩体为弧面板。
3、如权利要求1所述的洁净室开孔辅助治具,其特征在于,该抽风装置具有一抽风管,该抽风管连接在该连接通道上。
4、如权利要求3所述的洁净室开孔辅助治具,其特征在于,该连接通道为一与抽风管直径相匹配的通孔。
5、如权利要求3所述的洁净室开孔辅助治具,其特征在于,该连接通道为一与抽风管直径相匹配的凸管。
6、如权利要求1所述的洁净室开孔辅助治具,其特征在于,该抽风装置为一吸尘器。
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