[实用新型]一种洁净室开孔辅助治具

说明书

技术领域

本实用新型涉及开孔治具，尤其涉及一种洁净室开孔辅助治具。

背景技术

确保洁净室的洁净度是确保半导体制造行业较高成品率的最基本和最重要的因素，故尽量避免在洁净室中进行可能引起洁净度降低的施工作业，现通常将需进行维修或改装的设备移出洁净间进行维修或改装，但是在设备体积过大时将设备移出洁净间进行维修或改装并不可行，此时只能在洁净室内进行维修或改装作业。

在进行上述维修或改装作业时，需使用开孔器在设备上进行开孔以形成连接孔或维修窗口，开孔时所产生的碎屑会在洁净室中产生粉尘污染，从而造成严重的经济损失。

因此，如何提供一种洁净室开孔辅助治具以避免在洁净室中开孔时产生粉尘污染，已成为业界亟待解决的技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种洁净室开孔辅助治具，通过所述治具可避免在洁净室开孔时产生粉尘污染。

本实用新型的目的是这样实现的：一种洁净室开孔辅助治具，设置在一开孔器上，该开孔器具有本体、设置在本体底部中央的开孔刀具、用于支撑本体及开孔刀具的支架和设置在本体上驱动开孔刀具沿垂直方向运动以在需开孔件上开孔的驱动控制模块，该支架底部具有一缺口，该治具具有与该缺口形状相匹配的罩体，该罩体设置在该缺口上时恰与支架和本体组成封闭空间，该罩体上具有一供抽风装置连接的连接通道。

在上述的洁净室开孔辅助治具中，该缺口为弧面缺口，相应地该罩体为弧面板。

在上述的洁净室开孔辅助治具中，该抽风装置具有一抽风管，该抽风管连接在该连接通道上。

在上述的洁净室开孔辅助治具中，该连接通道为一与抽风管直径相匹配的通孔。

在上述的洁净室开孔辅助治具中，该连接通道为一与抽风管直径相匹配的凸管。

在上述的洁净室开孔辅助治具中，该抽风装置为一吸尘器。

与现有技术中直接使用开孔器在洁净室开孔易造成粉尘污染相比，本实用新型的洁净室开孔辅助治具具有一形状恰与开孔器支架底部的缺口相匹配的罩体，当将罩体罩设在该缺口上时该罩体与支架和本体形成封闭空间，在洁净室中开孔时通过与封闭空间相连的抽风设备抽风从而确保封闭空间为负压，如此开孔所产生的碎屑就会被抽风装置所抽走，从而可避免了由此产生的粉尘污染。

附图说明

本实用新型的洁净室开孔辅助治具由以下的实施例及附图给出。

图1为开孔器的组成结构示意图；

图2为本实用新型的洁净室开孔辅助治具的组成结构示意图；

图3为通过本实用新型的洁净室开孔辅助治具辅助开孔器开孔时的安装结构示意图。

具体实施方式

以下将对本实用新型的洁净室开孔辅助治具作进一步的详细描述。

参见图1至图3，本实用新型的洁净室开孔辅助治具2，用于辅助开孔器1在无尘室中对需开孔件(未图示)进行无污染的开孔，如图1所示，开孔器1具有本体10、设置在本体10底部中央的开孔刀具11和用于支撑本体10及开孔刀具11的支架12，所述支架12底部具有一缺口120。开孔器1还在本体10上设置有电源、驱动开孔刀具11沿垂直方向运动以在需开孔件上开孔的驱动控制模块和用于调整开孔刀具11进刀深浅(即支架12将本体10支撑起的高度)的调整模块，为简化图示及说明，所述电源、驱动控制模块和所述调整模块并未在图1至图3中进行图示。

在本实施例中，所述需开孔件为洁净室中的设备，其需开孔部位为聚丙烯塑料，在本实用新型的其他实施例中，需开孔件的需开孔部位也可为钢板或合金板等。

继续参见图1至图3，本实用新型的洁净室开孔辅助治具2具有与所述缺口120形状相匹配的罩体20，所述罩体20设置在缺口120处时恰与支架12和本体10组成封闭空间(未图示)，所述罩体20上具有供抽风装置3连接的连接通道200，其中，所述抽风装置3具有抽风管30，所述抽风管30连接在所述连接通道200上，所述连接通道200可实施为与抽风管30直径相匹配的通孔或凸管。

在本实施例中，所述缺口120为弧面缺口，相应地所述罩体20为弧面板，所述连接通道200为凸管，所述抽风装置3为吸尘器。

参见图3，在使用开孔器1在需开孔件上开孔时，首先将本实用新型的洁净室开孔辅助治具2的罩体20罩设在缺口120上，此时，罩体20与本体10和支架12围成一封闭空间，然后将抽风装置3的抽风管30连接在连接通道200上，随后开启抽风装置3驱使封闭空间为负压，此时，即可开启开孔器1在需开孔件上开孔，开孔时所产生的粉尘即被抽风装置3直接抽走，从而避免了在洁净室产生粉尘污染。

综上所述，本实用新型的洁净室开孔辅助治具具有一形状恰与开孔器支架底部的缺口相匹配的罩体，当将罩体罩设在所述缺口上时所述罩体与支架和本体形成封闭空间，在使用开孔器进行开孔时通过与封闭空间相连的抽风设备抽风从而确保封闭空间为负压，如此开孔所产生的碎屑就会被抽风装置所抽走，从而可避免了粉尘污染。