[发明专利]涂布装置及涂布方法无效
| 申请号： | 200710307314.6 | 申请日： | 2007-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN101209439A | 公开（公告）日： | 2008-07-02 |
| 发明（设计）人： | 梶谷雅一;近藤尚城;野尻大介;肥田充弘;永井久也;青木正美 | 申请（专利权）人： | 中外炉工业株式会社 |
| 主分类号： | B05C5/02 | 分类号： | B05C5/02;B05C11/10;B05D1/26 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 方晓虹 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种涂布装置和涂布方法，相对于载放在支承台上的被涂布构件(13)而使涂布液排出装置(3)向水平方向移动，并驱动涂布液供给装置(2)将涂布液供给到所述涂布液排出装置(3)，通过涂布液排出装置(3)的喷嘴将涂布液涂布在所述被涂布构件上(13)。本发明的涂布装置具有：与从涂布液排出装置(3)至喷嘴的配管途中连通的分支管(19)；通过分支管(19)从喷嘴吸引涂布液的涂布液吸引装置(5)；根据涂布液排出装置(3)的喷嘴前端开口部到达被涂布构件(13)的最后涂布区域而使涂布液吸引装置(5)开始进行涂布液吸引动作的控制装置(6)。采用本发明，容易进行调整，长期使用难以产生故障，包含最后涂布位置在内将涂布在被涂布构件上的涂布液的膜厚分布做得均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种涂布装置，使涂布液排出装置相对于载放在支承台上的被涂布构件而向水平方向移动，并驱动涂布液供给装置以将涂布液供给到所述涂布液排出装置，通过所述涂布液排出装置的喷嘴将涂布液涂布在所述被涂布构件上，其特征在于，包括：分支管，该分支管与从所述涂布液排出装置至所述喷嘴的配管的途中连通；涂布液吸引装置，该涂布液吸引装置通过所述分支管从所述喷嘴吸引涂布液；控制装置，该控制装置根据所述涂布液排出装置的喷嘴的前端开口部到达所述被涂布构件的最后涂布区域而使所述涂布液吸引装置开始进行涂布液的吸引动作。
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