[发明专利]涂布装置及涂布方法

说明书

技术领域

本发明涉及用涂布液在液晶显示板、PDP(Plasma Display Panel，等离子显示板)等被涂布构件的表面上形成涂膜用的涂布装置及涂布方法。

背景技术

以往，作为涂布装置，揭示了一种在涂布结束位置或涂布即将结束前使狭槽喷嘴相对下降并使泵反向旋转从而吸引涂布液的结构(例如参照专利文献1)。

专利文献1：日本特开2002-113411号公报

但是，在所述以往的涂布装置中，即使使泵反向旋转，由于从泵至狭槽喷嘴的配管较长，因配管内的剩余压力而无法立即停止涂布液从狭槽喷嘴的排出。因此，在涂布结束位置处的涂布液的膜厚控制是非常困难的。另外，若考虑到剩余压力而在事前使泵反向旋转，则必须考虑涂布液的粘性和与配管内表面的摩擦等各种参数的影响，实质上是不可能的。此外，通过使泵反向旋转而施加了强制的负荷，有产品寿命短的问题。

发明内容

因此，本发明提供一种涂布装置及涂布方法，其调整容易，长期使用难以发生故障，包含最后涂布位置在内可将涂布在被涂布构件上的涂布液的膜厚分布作成均匀。

为实现上述目的，本发明的涂布装置是，相对于载放在支承台上的被涂布构件而使涂布液排出装置向水平方向移动，并驱动涂布液供给装置将涂布液供给到所述涂布液排出装置，通过所述涂布液排出装置的喷嘴将涂布液涂布在所述被涂布构件上，包括：

分支管，该分支管与从所述涂布液排出装置至所述喷嘴的配管途中连通；

涂布液吸引装置，该涂布液吸引装置通过所述分支管从所述喷嘴吸引涂布液；

控制装置，该控制装置根据所述涂布液排出装置的喷嘴的前端开口部到达所述被涂布构件的最后涂布区域而使所述涂布液吸引装置开始进行涂布液的吸引动作。

这里，所谓最后涂布区域是喷嘴的前端开口部在被涂布构件的表面上从开始端移动到最后端的区域中不仅包含最后端还包含其之前的位置的概念。总之，最后涂布区域是若保持原来状态将涂布液进行涂布则会使膜厚变大的区域，其是根据相对于被涂布根据使涂布液排出装置向水平方向相对移动的速度、涂布液的种类(尤其粘性)等的不同而变动的，可根据实验等决定适当的位置。

利用该结构，在涂布液排出装置到达被涂布构件的最后涂布区域的时刻，利用专用的涂布液吸引装置，通过在从涂布液排出装置至喷嘴的配管途中分支的分支管来吸引涂布液，故可难以受到配管内的剩余压力的影响。因此，可将涂布液吸引装置所使用的泵等的驱动源和注射器等的回收构件作成小型而价廉。在该场合，若驱动源使用脉冲电动机或伺服电动机，则可非常精细地控制吸引量。

另外，为实现上述目的，本发明的涂布装置是，相对于载放在支承台上的被涂布构件而使涂布液排出装置向水平方向移动，并驱动涂布液供给装置将涂布液供给到所述涂布液排出装置，通过所述涂布液排出装置的喷嘴将涂布液涂布在所述被涂布构件上，包括：

分支管，该分支管与从所述涂布液排出装置至所述喷嘴的配管途中连通；

开闭单元，该开闭单元可使上述分支管向外气开放；

控制装置，该控制装置根据上述涂布液排出装置的喷嘴的前端开口部到达所述被涂布构件的最后涂布区域而利用所述开闭单元使分支管向外气开放。

利用该结构，在涂布液排出装置到达被涂布构件的作后涂布区域的时刻，利用开闭单元将分支管向外气开放，故喷嘴内的涂布液不会受配管内的剩余压力的不良影响而被挤出到被涂布构件的表面上，可在最后涂布区域获得良好的涂布状态。

所述分支管向大气的开放位置，最好是在所述涂布液排出装置的喷嘴的前端开口部的下方。

利用该结构，可发挥虹吸效果，可不另外使用驱动源就可顺利地吸引涂布液。

所述分支管向大气的开放位置，还最好可沿铅垂方向调整。

利用该结构，通过调整开放位置，可将吸引力作成适于使用状况的适当的值。

另外，为实现上述目的，本发明的涂布方法是，相对于载放在支承台上的被涂布构件而使涂布液排出装置向水平方向移动，并驱动涂布液供给装置将涂布液供给到所述涂布液排出装置，通过所述涂布液排出装置的喷嘴将涂布液涂布在所述被涂布构件上，

根据所述涂布液排出装置的喷嘴的前端开口部到达所述被涂布构件的最后涂布区域，借助与从所述涂布液排出装置至所述喷嘴的配管途中连通的分支管开始进行所述喷嘴内的涂布液的吸引动作。