[发明专利]涂布装置及涂布方法

权利要求书

1.一种涂布装置，使涂布液排出装置相对于载放在支承台上的被涂布构件而向水平方向移动，并驱动涂布液供给装置以将涂布液供给到所述涂布液排出装置，通过所述涂布液排出装置的喷嘴将涂布液涂布在所述被涂布构件上，其特征在于，包括：

分支管，该分支管与从所述涂布液排出装置至所述喷嘴的配管的途中连通；

涂布液吸引装置，该涂布液吸引装置通过所述分支管从所述喷嘴吸引涂布液；

控制装置，该控制装置根据所述涂布液排出装置的喷嘴的前端开口部到达所述被涂布构件的最后涂布区域而使所述涂布液吸引装置开始进行涂布液的吸引动作。

2.一种涂布装置，使涂布液排出装置相对于载放在支承台上的被涂布构件而向水平方向移动，并驱动涂布液供给装置以将涂布液供给到所述涂布液排出装置，通过所述涂布液排出装置的喷嘴将涂布液涂布在所述被涂布构件上，其特征在于，包括：

分支管，该分支管与从所述涂布液排出装置至所述喷嘴的配管的途中连通；

开闭单元，该开闭单元可使所述分支管向外气开放；

控制装置，该控制装置根据所述涂布液排出装置的喷嘴的前端开口部到达所述被涂布构件的最后涂布区域而利用所述开闭单元使分支管向外气开放。

3.如权利要求2所述的涂布装置，其特征在于，所述分支管的向大气开放的位置是在所述涂布液排出装置的喷嘴的前端开口部的下方。

4.如权利要求2或3所述的涂布装置，其特征在于，所述分支管的向大气开放的位置可沿铅垂方向调整。

5.一种涂布方法，使涂布液排出装置相对于载放在支承台上的被涂布构件而向水平方向移动，并驱动涂布液供给装置以将涂布液供给到所述涂布液排出装置，通过所述涂布液排出装置的喷嘴将涂布液涂布在所述被涂布构件上，其特征在于，

根据所述涂布液排出装置的喷嘴的前端开口部到达所述被涂布构件的最后涂布区域，并借助与从所述涂布液排出装置至所述喷嘴的配管的途中连通的分支管开始进行所述喷嘴内的涂布液的吸引动作。

6.一种涂布方法，使涂布液排出装置相对于载放在支承台上的被涂布构件而向水平方向移动，并驱动涂布液供给装置以将涂布液供给到所述涂布液排出装置，通过所述涂布液排出装置的喷嘴将涂布液涂布在所述被涂布构件上，其特征在于，

根据所述涂布液排出装置的喷嘴的前端开口部到达所述被涂布构件的最后涂布区域，使与从所述涂布液排出装置至所述喷嘴的配管途中连通的分支管向大气开放。