[发明专利]晶片检测机及其方法无效
| 申请号： | 200710306088.X | 申请日： | 2007-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN101210888A | 公开（公告）日： | 2008-07-02 |
| 发明（设计）人： | 吴世烈;高赫振 | 申请（专利权）人： | 斯尔瑞恩公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01N35/02;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 章社杲;吴贵明 |
| 地址： | 韩国庆*** | 国省代码： | 韩国;KR |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种晶片检测机及其方法。晶片检测机包括：检测台，具有用于卸载已检测晶片和加载待检测的新晶片的第一区域以及用于检测晶片的第二区域；多个晶片装配单元，彼此面对安装于所述检测台上；旋转盘，其上安装有多个晶片装配单元，旋转盘旋转以使每个晶片装配单元依次位于第一和第二区域；机器人，用于从位于第一区域的晶片装配单元中卸载已检测晶片并将待检测的新晶片加载至位于第一区域的晶片装配单元；以及晶片翻转装置，用于翻转加载至位于第二区域的晶片装配单元中的晶片。 | ||
| 搜索关键词： | 晶片 检测 及其 方法 | ||
【主权项】：
1.一种晶片检测机，包括：检测台，具有第一区域和第二区域，所述第一区域用于卸载已检测晶片并加载待检测的新晶片，所述第二区域用于检测晶片；多个晶片装配单元，彼此面对安装于所述检测台上；旋转盘，其上安装有所述多个晶片装配单元，旋转盘旋转以使每个晶片装配单元依次位于所述第一和第二区域；机器人，用于从位于所述第一区域的所述晶片装配单元中卸载所述已检测晶片并将所述待检测的新晶片加载至位于所述第一区域的所述晶片装配单元；以及晶片翻转装置，用于翻转加载至位于所述第二区域的所述晶片装配单元中的晶片。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于斯尔瑞恩公司，未经斯尔瑞恩公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200710306088.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
