[发明专利]基板搬运装置、基板承载架和基板处理装置

摘要

本发明提供一种基板搬运装置、基板承载架和基板处理装置，该基板处理装置由分度器区和处理区组成，利用分度器机器人在分度器区和处理区之间搬运基板。分度器机器人包括在转动台上设置的上下的两个手部。一手部相对于另一手部沿铅垂方向移动。一手部和另一手部的高度差能够调整得与运载器的基板容置槽之间的间隔相同，该运载器容置有被搬入到分度器区内的基板。一手部和另一手部的高度差能够调整得与设置在分度器区和处理区之间的基板承载部的支承板之间的间隔相同。

主权项

1.一种基板搬运装置，其在容置容器和基板承载架之间搬运基板，其中，该容置容器具有多层将基板以近似水平姿势容置的容置槽，该基板承载架具有多层将基板以近似水平姿势承载的容置架，其特征在于，包括：第一及第二基板保持部，其相互上下设置，将基板以近似水平姿势保持；驱动机构，其使上述第一及第二基板保持部移动并沿近似水平方向进退，以相对于上述容置容器及上述基板承载架进行基板的交接；调整机构，其对上述第一及第二基板保持部之间的高度差进行调整，在上述容置容器与上述第一及第二基板保持部之间交接基板时，上述调整机构将上述第一及第二基板保持部之间的高度差调整为上述容置容器的上述容置槽之间的高度差，在上述基板承载架与上述第一及第二基板保持部之间交接基板时，上述调整机构将上述第一及第二基板保持部之间的高度差调整为上述基板承载架的容置架之间的高度差。