[发明专利]基板搬运装置、基板承载架和基板处理装置

权利要求书

1.一种基板搬运装置，其在容置容器和基板承载架之间搬运基板，其中，该容置容器具有多层将基板以近似水平姿势容置的容置槽，该基板承载架具有多层将基板以近似水平姿势承载的容置架，其特征在于，

包括：

第一及第二基板保持部，其相互上下设置，将基板以近似水平姿势保持；

驱动机构，其使上述第一及第二基板保持部移动并沿近似水平方向进退，以相对于上述容置容器及上述基板承载架进行基板的交接；

调整机构，其对上述第一及第二基板保持部之间的高度差进行调整，

在上述容置容器与上述第一及第二基板保持部之间交接基板时，上述调整机构将上述第一及第二基板保持部之间的高度差调整为上述容置容器的上述容置槽之间的高度差，在上述基板承载架与上述第一及第二基板保持部之间交接基板时，上述调整机构将上述第一及第二基板保持部之间的高度差调整为上述基板承载架的容置架之间的高度差。

2.根据权利要求1记载的基板搬运装置，其特征在于，上述驱动机构使上述第一及第二基板保持部沿近似水平方向分别独立地进退，以对上述容置容器及上述基板承载架进行基板的交接。

3.一种基板承载架，其用于在第一基板搬运装置和第二基板搬运装置之间交接基板，其中该第一基板搬运装置具有相互上下设置的第一及第二基板保持部，该第二基板搬运装置具有相互上下设置的第三及第四基板保持部，其特征在于，

包括：

多层的容置架，其分别对基板进行支承，并使基板为近似水平姿势；

调整机构，其用于调整容置架之间的高度差，

在与上述第一基板搬运装置之间交接基板时，上述调整机构将上述容置架之间的高度差调整为上述第一及第二基板保持部之间的高度差，在与上述第二基板搬运装置之间交接基板时，上述调整机构将上述容置架之间的高度差调整为上述第三及第四基板保持部之间的高度差。

4.根据权利要求3记载的基板承载架，其特征在于，各层容置架包含在近似水平面内以给定间隔设置的一组架部以及设置在上述一组架部上并对基板下表面进行支承的多个支承部件。

5.一种基板处理装置，其用于对基板进行处理，其特征在于，

包括：对基板进行处理的处理区域；对上述处理区域进行基板的搬入和搬出的搬入搬出区域；在上述处理区域和上述搬入搬出区域之间交接基板的交接部，

上述搬入搬出区域包括：

承载容置容器的容器承载部，该容置容器具有多层将基板以近似水平姿势容置的容置槽；

第一基板搬运装置，其在承载于上述容器承载部上的容置容器和上述交接部之间搬运基板，

上述处理区域包括：

对基板进行处理的处理部；

在上述交接部和上述处理部之间搬运基板的第二基板搬运装置，

上述交接部包括基板承载架，该基板承载架具有多层将基板以近似水平姿势承载的容置架，

上述第一基板搬运装置包括：

第一及第二基板保持部，其相互上下设置，将基板以近似水平姿势保持；

驱动机构，其使上述第一及第二基板保持部移动并沿近似水平方向进退，以对上述容置容器及上述基板承载架进行基板的交接；

调整机构，其对上述第一及第二基板保持部之间的高度差进行调整，

在上述容置容器与上述第一及第二基板保持部之间交接基板时，上述调整机构将上述第一及第二基板保持部之间的高度差调整为上述容置容器的上述容置槽之间的高度差，在上述基板承载架与上述第一及第二基板保持部之间交接基板时，上述调整机构将上述第一及第二基板保持部之间的高度差调整为上述基板承载架的容置架之间的高度差。

6.根据权利要求5记载的基板处理装置，其特征在于，

上述处理部包括对基板进行清洗的清洗处理部。