[发明专利]基板搬运装置、基板承载架和基板处理装置

说明书

技术领域

本发明涉及搬运基板的基板搬运装置、承载基板的基板承载架和处理基板的基板处理装置。

背景技术

一直以来，为了对半导体晶片、光掩模用玻璃基板、液晶显示装置用玻璃基板、等离子体显示装置用玻璃基板、光盘用基板、磁盘用基板、光磁盘用基板等基板进行各种处理，使用基板处理装置。

作为基板处理装置的一个示例，下文将对JP特开平10-150090号所记载的基板处理装置进行介绍。图11是显示JP特开平10-150090号所记载的基板处理装置的俯视图。如图11所示，该基板处理装置900包括分度器910和处理模块920。

分度器910包括在直线延伸的分度器搬运路径911上往复移动的分度器机器人912、能够承载沿着分度器搬运路径911的多个运载器C的盒承载部913。将多个基板W收容在运载器C内。

处理模块920包括：在与分度器搬运路径911垂直的主搬运路径921上往复移动的主搬运机器人922、隔着主搬运路径921设置的一对单元部930A、930B。将用于对基板W进行处理的处理室933、934设置在单元部930A、930B上。在基板处理装置900中按下述顺序搬运基板W。

首先，从基板处理装置900的外部将运载器C搬入到盒承载部913上。然后由分度器机器人912将容置在运载器C内的未处理的基板W取出，并传递给主搬运机器人922。

传递给主搬运机器人922的基板W被搬入到处理室933、934内进行清洗处理。然后，处理后的基板W通过主搬运机器人922和分度器机器人912再次被容置在运载器C内。

在上述的基板处理装置900中，分度器机器人912包括：用于从运载器C内将未处理的基板W取出的基板取出臂、和用于将处理后的基板W容置在运载器C内的基板容置臂。

例如分度器机器人912在将1个未处理的基板W从运载器C内取出的同时进行搬运，将该基板W交给主搬运机器人922。此外，分度器机器人912在从主搬运机器人922接收1个处理后的基板W的同时进行搬运，将该基板W容置在运载器C内

在分度器机器人912进行动作时，容置有分度器机器人912应该要取出的未处理的基板W的运载器C与用于容置分度器机器人912处理后的基板W的运载器C有时不同。

此时，例如分度器机器人912将处理后的基板W容置在1个运载器C内后，必须在分度器搬运路径911上朝向收容了未处理基板W的其它运载器C移动，从而妨碍了基板处理装置900生产能力的提高。

为了提高基板处理装置900的生产能力，就要考虑提高分度器机器人912的动作速度。然而因下述原因，不能显著提高分度器机器人912的动作速度。

在运载器C中，为了容置更多的基板W，基板W的容置间隔非常小。因而，对应于运载器C内的基板W的容置间隔，将分度器机器人912的基板取出臂和基板容置臂制造得壁厚很薄。因而基板取出臂和基板容置臂的刚性不高。

从而如果显著提高分度器机器人912的动作速度，则会在各个臂上产生振动或变形等。因而产生基板W的搬运不良。

发明内容

本发明的目的是提供一种能够充分缩短基板搬运时间的基板搬运装置、基板承载架和基板处理装置。

本发明的第一方面的基板搬运装置是一种在容置容器和基板承载架之间搬运基板的基板搬运装置，其中，该容置容器具有多层将基板以近似水平姿势容置的容置槽，该基板承载架具有多层将基板以近似水平姿势承载的容置架，包括：第一及第二基板保持部，其相互上下设置，将基板以近似水平姿势保持；驱动机构，其使第一及第二基板保持部移动并沿近似水平方向进退，以相对于容置容器及基板承载架进行基板的交接；调整机构，其对第一及第二基板保持部之间的高度差进行调整，在容置容器与第一及第二基板保持部之间交接基板时，调整机构将第一及第二基板保持部之间的高度差调整为容置容器的容置槽之间的高度差，在基板承载架与第一及第二基板保持部之间交接基板时，调整机构将第一及第二基板保持部之间的高度差调整为基板承载架的容置架之间的高度差。

该基板搬运装置使用相互上下设置的第一和第二基板保持部与具有多层容置槽的容置容器之间交接基板。在进行基板交接时，第一和第二基板保持部之间的高度差由调整机构调整到容置容器的容置槽之间的高度差。

从而，通过由驱动机构使第一和第二基板保持部大致沿水平方向前进，能够分别将第一及第二基板保持部插入到容置容器的2个容置槽之间，由此，能够在第一和第二基板保持部与容置容器之间顺利地交接多个基板。