[发明专利]涂敷方法和涂敷装置有效
| 申请号： | 200710196021.5 | 申请日： | 2007-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN101192008A | 公开（公告）日： | 2008-06-04 |
| 发明（设计）人： | 大塚庆崇;中满孝志;筱崎贤哉 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16;H01L21/68 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种涂敷方法和涂敷装置，其在浮起搬送中不会使被处理基板的前端部和后端部产生波动而能够正确稳定地控制基板的浮起高度，使涂敷膜的膜厚品质提高。基板搬送部(84)包括：平行地配置在利用气体压力的力在空中使基板G浮起的浮起式台(80)的两侧的左右一对导轨(100L、100R)；沿搬送方向(X方向)可移动地安装在这些的导轨(100L、100R)上的左右一对滑动件(102L、102R)；使两滑动件(102L、102R)在两导轨(100L、100R)上同时或平行地直进移动地搬送驱动部；和为了可装卸保持基板(G)的四角而搭载在两滑动件(102L、102R)上的保持部(106)。 | ||
| 搜索关键词： | 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种涂敷装置，其特征在于，包括：台，利用气体的压力使矩形的被处理基板浮起；搬送部，具有以能够装卸的方式保持在所述台上处于浮起状态的所述基板的保持部，为了在所述台上沿规定的搬送方向浮起搬送所述基板而使保持所述基板的所述保持部沿所述搬送方向移动；和处理液供给部，具有配置在所述台的上方的长形的喷嘴，为了在所述基板上形成处理液的涂敷膜，使处理液从所述喷嘴向着由所述浮起搬送而通过所述喷嘴的正下方的所述基板吐出，所述保持部具有局部地保持所述基板的四角的实质上不挠曲的保持部件，和用于使所述保持部件升降移动或移位的升降部。
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