[发明专利]涂敷方法和涂敷装置

权利要求书

1.一种涂敷装置，其特征在于，包括：

台，利用气体的压力使矩形的被处理基板浮起；

搬送部，具有以能够装卸的方式保持在所述台上处于浮起状态的所述基板的保持部，为了在所述台上沿规定的搬送方向浮起搬送所述基板而使保持所述基板的所述保持部沿所述搬送方向移动；和

处理液供给部，具有配置在所述台的上方的长形的喷嘴，为了在所述基板上形成处理液的涂敷膜，使处理液从所述喷嘴向着由所述浮起搬送而通过所述喷嘴的正下方的所述基板吐出，

所述保持部具有局部地保持所述基板的四角的实质上不挠曲的保持部件，和用于使所述保持部件升降移动或移位的升降部。

2.如权利要求1所述的涂敷装置，其特征在于：

所述保持部件包括：能够分别吸附在所述基板的四角的背面的4个吸附垫，和在沿搬送方向以规定的间隔设置的2个位置分别规定各个所述吸附垫的垂直方向的移位并支撑其的第一和第二垫支撑部。

3.如权利要求2所述的涂敷装置，其特征在于：

所述第一和第二垫支撑部的两方具有使所述吸附垫在其周围在垂直面内能够旋转移位的水平旋转轴，所述第一和第二垫支撑部的一方具有使所述吸附垫在水平方向能够直动移位的直动轴。

4.如权利要求2或3所述的涂敷装置，其特征在于：

所述升降部包括：

分别独立地对所述第一和第二垫支撑部进行升降驱动的第一和第二驱动器；和

对所述第一和第二驱动器的驱动动作进行集中控制的升降控制部。

5.如权利要求4所述的涂敷装置，其特征在于：

所述第一驱动器包括：第一电动机；和将所述第一电动机的旋转驱动力变换为所述第一垫支撑部的垂直方向的直进运动的第一传动机构，

所述第二驱动器包括：第二电动机；和将所述第二电动机的旋转驱动力变换为所述第二垫支撑部的垂直方向的直线运动的第二传动机构。

6.如权利要求5所述的涂敷装置，其特征在于：

所述升降控制部包括用于分别检测所述第一和第二电动机的旋转角的第一和第二编码器，为了控制所述第一垫支撑部的升降移动距离，将所述第一编码器的输出信号作为反馈信号，对所述第一电动机的旋转量进行控制，为了控制所述第二垫支撑部的升降移动距离，将所述第二编码器的输出信号作为反馈信号，对所述第二电动机的旋转量进行控制。

7.如权利要求5所述的涂敷装置，其特征在于：

所述升降控制部包括用于分别检测所述第一和第二垫支撑部的升降移动距离的第一和第二距离传感器，为了控制所述第一垫支撑部的升降移动距离，将所述第一距离传感器的输出信号作为反馈信号，对所述第一电动机的旋转量进行控制，为了控制所述第二垫支撑部的升降移动距离，将所述第二距离传感器的输出信号作为反馈信号，对所述第二电动机的旋转量进行控制。

8.如权利要求2或3所述的涂敷装置，其特征在于：

在所述第一和第二垫支撑部之间具有相对地调节所述吸附垫的支点的高度位置的吸附垫水平调节部，使得相对于所述喷嘴的吐出口的高度位置在各个所述吸附垫的上面整体为均匀水平。

9.如权利要求1～3中任一项所述的涂敷装置，其特征在于：

所述搬送部包括：在所述台的两侧沿所述搬送方向延伸的一对导轨；

搭载所述保持部并能够沿所述导轨移动的滑动件；和

沿所述导轨对所述滑动件进行直进驱动的搬送驱动部。

10.如权利要求1～3中任一项所述的涂敷装置，其特征在于：

包括：用于使所述喷嘴升降移动的喷嘴升降机构，

为了光学地测定与正下方的测定对象物的距离间隔，安装在所述喷嘴上或安装在支撑所述喷嘴并与其一体地升降移动的喷嘴支撑体上的光学式距离传感器。

11.如权利要求10所述的涂敷装置，其特征在于：

使用所述光学式距离传感器测定与所述吸附垫的距离间隔。

12.如权利要求10所述的涂敷装置，其特征在于：

使用所述光学式距离传感器测定与所述台上的所述基板的距离间隔。

13.如权利要求1～3中任一项所述的涂敷装置，其特征在于：

在所述保持部上安装有用于光学检测所述喷嘴的高度位置的光学式位置传感器。