[发明专利]涂敷方法和涂敷装置

说明书

技术区域

本发明涉及以浮起搬送方式在被处理基板上形成处理液的涂敷膜的涂敷方法和涂敷装置。

背景技术

在LCD等的平面面板显示器(FPD)的制造工艺的光刻工序中，多使用对具有狭缝状的吐出口的长方形的抗蚀剂喷嘴进行相对地扫描，在被处理基板(玻璃基板等)上涂敷抗蚀剂液的非旋涂的涂敷法。

作为这样的非旋涂涂敷法的一个方式，已知有例如专利文献1所公开的浮起搬送方式：用于支撑FPD用的矩形的被处理基板(例如玻璃基板)的台(stage)构成为浮起式，使在台上的基板保持在空中浮起的状态沿水平方向(台的长边方向)搬送，在搬送途中的规定位置使设置在台上方的长方形的抗蚀剂喷嘴向通过其正下的基板带状地喷出抗蚀剂液，从基板上的一端至另一端涂敷抗蚀剂液。

现有的普通的喷嘴移动方式为将基板固定在吸附式的台上，通过在其上方使长方形抗蚀剂喷嘴沿水平方向移动，同时带状地吐出抗蚀剂液，从基板上的一端至另一端涂敷抗蚀剂液的方式，浮起搬送方式与现有的普通的喷嘴移动方式相比较，因为保持固定长方形抗蚀剂喷嘴的状态进行涂敷扫描，所以被认为对基板的大型化(即抗蚀剂喷嘴的庞大沉重化)有利。

采用浮起搬送方式的现有的抗蚀剂涂敷装置，为了在浮起式的台上浮起搬送基板，包括：被配置在台的左右两侧的一对导轨；沿着这些的导轨平行地直线移动的左右一对滑动件；以一定的间隔可装卸地吸附在基板的左右两边部的左右单列的吸附垫；和将这些的左右单列的吸附垫分别连接在左右的滑动件上，并且随着基板的浮起高度上下移位的板簧等的连接部件。

通常，根据从浮起台的上面向基板供给的气体(一般为空气)的压力规定基板的浮起高度(浮起量)，对沿搬送方向划分的浮起台上的每个区域设定最佳的浮起量。即，在进行基板的搬入和搬出的台两端部的区域(搬入区域和搬出区域)设定例如250～350μm的比较大的浮起量，在从抗蚀剂喷嘴向基板上供给抗蚀剂液的台中心部的区域(涂敷区域)设定例如30～60μm的小的浮起量。然后，在浮起台上将基板从搬入区域通过涂敷区域浮起搬送至搬出区域时基板的浮起高度发生变化，在搬送方向的各位置追随基板的浮起高度使各位置的连接单元上下移位。

此外，在浮起搬送方式中，为了在抗蚀剂喷嘴和基板之间形成一定的狭小间隙，不仅要求使基板的浮起高度控制为与设定值高精度地一致，也有必要正确地管理抗蚀剂喷嘴的高度位置，在装置的装配时和装置运转的间隔测定相对台的抗蚀剂喷嘴的相对高度位置或间隙，基于该测定值进行基准值的初始化或误差的校正。

以往，为了测定台和抗蚀剂喷嘴之间的间隙，将块状的夹具以其测定点露出到台外(旁边)的方式载置在台上，从下方将千分表的触针按压在该夹具的测定点上，从表的读取值测定台上面(基准)的高度位置，接着卸下夹具从下方将千分表的触针按压在抗蚀剂喷嘴的下端，从表读取值测定抗蚀剂喷嘴下端的高度位置。然后，将从第二测定值(抗蚀剂喷嘴下端的高度位置)减去第一测定值(台上面的高度位置)的差分作为间隙测定值。

专利文献1：日本特开平2005-244155

如上所述，现有的浮起搬送式抗蚀剂涂敷装置，利用从浮起台向基板供给的气体的压力对基板的浮起高度(浮起量)进行可变控制，并使保持基板的吸附垫到连接部件随着基板的浮起高度上下移位。但是，在浮起搬送中存在基板的前端部和后端部上下振动而产生波动的问题。即，基板的前端在大致完全覆盖台上面的各列或各个别的喷出口或吸引口的瞬间，从台侧承受的浮起压力急剧地变动，在基板上产生垂直方向的振动，另外基板的后端在对大气开放各列或各个别喷出口或吸引口的瞬间，浮起压力也急剧地变动，在基板上产生垂直方向的振动。此时，保持基板的吸附垫和连接部件也随着基板一起振动。由此，会造成在浮起搬送上的基板的前端部和后端部不稳定地波动，导致抗蚀剂涂敷膜的膜厚变得不稳定，产生缟状的涂敷不均的情况。

另外，如上所述，为了测定抗蚀剂喷嘴的高度位置使用千分表的现有的方法，不仅存在千分表的设置和使用麻烦，而且存在由于是接触式的千分表，对抗蚀剂喷嘴造成损伤，表触针被抗蚀剂弄脏，易于检测出错等问题。

发明内容

本发明是鉴于上述现有技术的问题而提出的，其目的在于提供一种在浮起搬送中不会使被处理基板的前端部和后端部产生波动而正确稳定地控制基板的浮起高度，使涂敷膜的膜厚品质提高的浮起搬送方式的涂敷方法和涂敷装置。

进一步地，本发明的目的在于提供一种能够简便并且安全正确地测定喷嘴的高度位置的浮起搬送方式的涂敷装置。