[发明专利]基板清洗装置有效
| 申请号： | 200710194737.1 | 申请日： | 2007-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN101214484A | 公开（公告）日： | 2008-07-09 |
| 发明（设计）人： | 金银洙 | 申请（专利权）人： | 显示器生产服务株式会社 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B3/10 |
| 代理公司： | 北京金信立方知识产权代理有限公司 | 代理人： | 黄威;徐金伟 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基板清洗装置，尤其涉及一种使用两种混合流体即气体及液体来清洗平板显示面板用基板时，在基板上均匀喷射清洗流体来进行清洗作业的基板清洗装置。本发明包括：清洗槽，用于提供作业空间；气体供给装置，位于所述清洗槽内部，用于供给清洗气体；液体供给装置，与所述气体供给装置相面对地结合，用于供给清洗液体；第一喷射装置，在气体供给装置和液体供给装置之间形成长方体状流体喷射区域，并在所述流体喷射区域内相隔预定距离形成多个第一喷孔，所述第一喷孔具有用于混合喷射清洗气体和清洗液体的流路；第二喷射装置，在第一喷射装置的第一喷孔之间形成多个第二喷孔，所述第二喷孔具有用于混合喷射清洗气体和清洗液体的流路。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗 装置 | ||
【主权项】：
1.一种基板清洗装置，其特征在于，包括：清洗槽，其用于提供作业空间；气体供给装置，其位于所述清洗槽内部，且用于供给清洗气体；液体供给装置，其与所述气体供给装置相面对地结合，并且用于供给清洗液体；第一喷射装置，其在所述气体供给装置和液体供给装置之间形成长方体状流体喷射区域，并在所述流体喷射区域内相隔预定距离形成多个第一喷孔，所述第一喷孔具有用于混合喷射清洗气体和清洗液体的流路；第二喷射装置，其在所述第一喷射装置的多个第一喷孔之间形成多个第二喷孔，所述第二喷孔具有用于混合喷射清洗气体和清洗液体的流路。
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