[发明专利]基板清洗装置

权利要求书

1.一种基板清洗装置，其特征在于，包括：

清洗槽，其用于提供作业空间；

气体供给装置，其位于所述清洗槽内部，且用于供给清洗气体；

液体供给装置，其与所述气体供给装置相面对地结合，并且用于供给清洗液体；

第一喷射装置，其在所述气体供给装置和液体供给装置之间形成长方体状流体喷射区域，并在所述流体喷射区域内相隔预定距离形成多个第一喷孔，所述第一喷孔具有用于混合喷射清洗气体和清洗液体的流路；

第二喷射装置，其在所述第一喷射装置的多个第一喷孔之间形成多个第二喷孔，所述第二喷孔具有用于混合喷射清洗气体和清洗液体的流路。

2.根据权利要求1所述的基板清洗装置，其特征在于：

所述气体供给装置及液体供给装置具备使清洗气体及清洗液体通过的空间，且所述空间为长方体状箱体。

3.根据权利要求1所述的基板清洗装置，其特征在于，所述第一喷射装置包括：

第一流路单元，其形成有用于喷射清洗气体的流路；和第二流路单元，其形成有用于混合喷射的流路，而该流路可以使清洗液体通过经所述第一流路单元喷射的清洗气体的喷射压力吸入后，和气体一起混合喷射。

4.根据权利要求3所述的基板清洗装置，其特征在于：

所述第一流路单元及第二流路单元分别由形成有多个流路孔的多个薄板构成，当所述薄板相面对地结合时，通过所述流路孔使两个流路区域的排出部以连通状态相连接，从而形成用于混合喷射清洗气体和清洗液体的第一喷孔。

5.根据权利要求1所述的基板清洗装置，其特征在于，所述第二喷射装置包括：

第三流路单元，其形成有用于喷射清洗气体的流路；和第四流路单元，其形成有用于混合喷射的流路，而该流路可以使清洗液体被经第三流路单元喷射的清洗气体的喷射压力吸入后，和气体一起混合喷射。

6.根据权利要求5所述的基板清洗装置，其特征在于：

所述第三流路单元及第四流路单元分别由形成有多个流路孔的多个薄板构成，当所述薄板相面对地结合时，通过所述多个流路孔使两个流路区域的排出部以连通状态相连接，从而形成用于混合喷射清洗气体和清洗液体的第二喷孔。