[发明专利]用于真空薄膜制程的转盘式连续溅镀机无效
| 申请号： | 200710187363.0 | 申请日： | 2007-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN101440474A | 公开（公告）日： | 2009-05-27 |
| 发明（设计）人： | 陈政勋;姚朝祯 | 申请（专利权）人： | 钰衡科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/50 |
| 代理公司： | 北京申翔知识产权代理有限公司 | 代理人： | 周春发 |
| 地址： | 台湾省台南县*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明关于一种用于真空薄膜制程的转盘式连续溅镀机，包括：一腔体、复数个溅镀源、一转盘、一分割器、一主要气缸以及一辅助气缸；其中，该溅镀源设置于该腔体上，该转盘则设置于该腔体之中作旋转运动，且该转盘中央连接一转轴，由该分割器连接该转轴以驱使该转盘转动；此外，该主要气缸用于升降该转盘，该辅助气缸用以区分大气侧及真空侧。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 真空 薄膜 转盘 连续 溅镀机 | ||
【主权项】：
1、一种用于真空薄膜制程的转盘式连续溅镀机，包括：一腔体，设有一进料取料区及复数个溅镀区，以及对应于该进料取料区的一盖板；复数个溅镀源，设置于该腔体上，对应于该复数个溅镀区；一转盘，设置于该腔体中作旋转运动，设有复数个工件置放区对应于该进料取料区及溅镀区，该转盘中央连接一转轴；一分割器，连接于该转轴，使该转盘作旋转运动；一主要气缸，用以升降该转盘；以及一辅助气缸，用以区分大气侧及真空侧。
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