[发明专利]用于真空薄膜制程的转盘式连续溅镀机

权利要求书

1、一种用于真空薄膜制程的转盘式连续溅镀机，包括：

一腔体，设有一进料取料区及复数个溅镀区，以及对应于该进料取料区的一盖板；

复数个溅镀源，设置于该腔体上，对应于该复数个溅镀区；

一转盘，设置于该腔体中作旋转运动，设有复数个工件置放区对应于该进料取料区及溅镀区，该转盘中央连接一转轴；

一分割器，连接于该转轴，使该转盘作旋转运动；

一主要气缸，用以升降该转盘；以及

一辅助气缸，用以区分大气侧及真空侧。

2、如权利要求1所述的用于真空薄膜制程的转盘式连续溅镀机，其中该工件置放区设有一抽气通孔。

3、如权利要求1所述的用于真空薄膜制程的转盘式连续溅镀机，其中该分割器由一外部动力源提供动力，以驱动该转盘。

4、如权利要求1所述的用于真空薄膜制程的转盘式连续溅镀机，其中该辅助气缸设置于该腔体下方对应于该进料取料区的位置，并以一轴体连接一圆盘。

5、如权利要求1所述的用于真空薄膜制程的转盘式连续溅镀机，其中该工件置放区的个数为六个。

6、如权利要求1所述的用于真空薄膜制程的转盘式连续溅镀机，其中该转盘式连续溅镀机更具有一承载架，以承载该分割器及转轴。

7、如权利要求6所述的用于真空薄膜制程的转盘式连续溅镀机，其中该承载架下方连接该主要气缸，并由该主要气缸升降该承载架，进而升降该转盘。