[发明专利]阻焊膜形成方法和感光性组合物有效
| 申请号： | 200710187254.9 | 申请日： | 2007-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN101192001A | 公开（公告）日： | 2008-06-04 |
| 发明（设计）人： | 柴崎阳子;加藤贤治;有马圣夫 | 申请（专利权）人： | 太阳油墨制造株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;G03F7/32;G03F7/20;G03F7/004;G03F7/26 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的阻焊膜的形成方法如下，将感光性组合物涂布到基材上使其干燥后，对该干燥涂膜照射第1激光和与所述第1激光波长不同的第2激光，形成所述第1激光和第2激光双方照射得到的图案潜影，然后，通过碱性水溶液进行显影。另外，用于本发明的阻焊膜形成方法的感光性组合物如下，其曝光前的干燥涂膜每25μm厚度，在355～380nm的波长范围显示0.6～1.2的吸光度，并且，在405nm的波长下显示0.3～0.6的吸光度。 | ||
| 搜索关键词： | 阻焊膜 形成 方法 感光性 组合 | ||
【主权项】：
1.阻焊膜的形成方法，其特征在于，将感光性组合物涂布到基材上使其干燥后，对该干燥涂膜照射彼此波长不同的2种以上激光，形成所述2种以上激光分别照射得到的图案潜影，然后，通过碱性水溶液进行显影。
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