[发明专利]阻焊膜形成方法和感光性组合物

权利要求书

1.阻焊膜的形成方法，其特征在于，将感光性组合物涂布到基材上使其干燥后，对该干燥涂膜照射彼此波长不同的2种以上激光，形成所述2种以上激光分别照射得到的图案潜影，然后，通过碱性水溶液进行显影。

2.阻焊膜的形成方法，其特征在于，将感光性组合物涂布到基材上使其干燥后，对该干燥涂膜照射第1激光和与所述第1激光波长不同的第2激光，形成所述第1激光和第2激光双方照射得到的图案潜影，然后，通过碱性水溶液进行显影。

3.根据权利要求2所述的阻焊膜的形成方法，其特征在于，所述第1激光和所述第2激光中的一方是蓝紫激光。

4.感光性组合物，其特征在于，该感光性组合物用于权利要求2所述的阻焊膜的形成方法，其中，其曝光前的干燥涂膜每25μm厚度，在355～380nm的波长范围显示0.6～1.2的吸光度，并且，在405nm的波长下显示0.3～0.6的吸光度。

5.根据权利要求4所述的感光性组合物，其特征在于，曝光前的所述干燥涂膜每25μm厚度，在355～380nm的波长范围的最大吸光度与在405nm的波长下的吸光度之差为0.3以上且不足0.6。

6.根据权利要求4所述的感光性组合物，其特征在于，曝光前的干燥涂膜每25μm厚度，在355nm的波长下显示0.6～1.0的吸光度，以及在405nm的波长下显示0.3～0.5的吸光度，并且，在355nm的波长下的吸光度与在405nm的波长下的吸光度之差为0.3以上且不足0.5。

7.根据权利要求4所述的感光性组合物，其特征在于，所述感光性组合物包含(A)含羧酸树脂、(B)光聚合引发剂、以及(C)颜料。

8.根据权利要求7所述的感光性组合物，其特征在于，所述光聚合引发剂(B)是选自具有式(I)所示的基团的肟酯系光聚合引发剂、具有式(II)所示的基团的α-氨基苯乙酮系光聚合引发剂、以及具有式(III)所示的基团的酰基氧化膦系光聚合引发剂所组成的组中的1种以上光聚合引发剂，

式中，R¹表示氢原子，可被碳原子数1～6的烷基、苯基或卤原子取代的苯基，可被1个以上羟基取代且也可在烷基链的中间具有1个以上氧原子的碳原子数1～20的烷基，碳原子数5～8的环烷基，可被碳原子数1～6的烷基或苯基取代的碳原子数2～20的烷酰基或苯甲酰基，

R²表示可被碳原子数1～6的烷基、苯基或卤原子取代的苯基，可被1个以上羟基取代且也可在烷基链的中间具有1个以上氧原子的碳原子数1～20的烷基，碳原子数5～8的环烷基，可被碳原子数1～6的烷基或苯基取代的碳原子数2～20的烷酰基或苯甲酰基，

R³和R⁴各自独立地表示碳原子数1～12的烷基或芳烷基，

R⁵和R⁶各自独立地表示氢原子、碳原子数1～6的烷基、或两者结合而成的环状烷基醚基，

R⁷和R⁸各自独立地表示碳原子数1～10的直链状或支链状烷基、环己基、环戊基、芳基、或者可被卤原子、烷基或烷氧基取代的芳基，其中，R⁷和R⁸中的一方也可表示R-C(＝O)-基，这里，R是碳原子数1～20的烃基。

9.根据权利要求8所述的感光性组合物，其特征在于，所述具有式(I)所示的基团的肟酯系光聚合引发剂包含式(IV)的化合物。