[发明专利]一种用于三维电学互连的柔性集成互连线的制作方法无效
| 申请号： | 200710173298.6 | 申请日： | 2007-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN101214149A | 公开（公告）日： | 2008-07-09 |
| 发明（设计）人： | 吕尊实;周嘉;黄宜平 | 申请（专利权）人： | 复旦大学 |
| 主分类号： | A61B5/05 | 分类号： | A61B5/05;A61N1/04;H01L23/522;H01L23/532;H01L21/768 |
| 代理公司： | 上海正旦专利代理有限公司 | 代理人： | 陆飞;盛志范 |
| 地址： | 20043*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明属于柔性互连线的微加工技术领域，具体为一种用于三维电学互连集成连线的制作方法。本发明以聚酰亚胺柔性材料为主体，用微加工工艺把铜互连线镶嵌到聚酰亚胺中，并在微电极阵列对应的地方开孔用于三维互连，从而降低三维互连的复杂性，提高互连线的集成度，降低三维互连的成本；由于聚酰亚胺的柔韧性，降低了互连线对机体组织的损伤，使与其结合的三维神经电极阵列更适合活体应用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 三维 电学 互连 柔性 集成 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于三维电学互连的柔性集成互连线的制作方法，其特征在于把若干根互连线镶嵌在聚酰亚胺柔性材料中，并在三维神经电极相对应的位置开出互连孔，用于三维互连连。
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